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龍圖騰網獲悉杭州阿童木科技有限公司申請的專利一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置及冷卻方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120174340B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510335122.4，技術領域涉及：C23C16/44；該發明授權一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置及冷卻方法是由鄭一格;吳波睿;劉祺設計研發完成，并于2025-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置及冷卻方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置及冷卻方法，涉及半導體生產制造技術領域，包括：底座，底座頂面固定安裝有工作臺，底座側壁固定安裝有連接板和處理器，底座頂面設有兩個支架，支架右側壁固定安裝有固定板，固定板頂面中心處固定安裝有石墨放置座二，本發明中，通過噴氣頭一和噴氣頭二噴出的冷卻氣體對硅片進行非接觸式夾持冷卻，有效避免了傳統機械手直接夾取高溫硅片可能引發的硅片損壞以及污染問題，極大地提高了硅片冷卻過程的安全性和清潔度，保障了硅片的品質，同時，利用激光測距儀與反射板的配合，以及處理器對數據的處理和對排氣泵的精準調控，實現了根據硅片冷卻狀態動態調整冷卻氣體流量和壓力。

本發明授權一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置及冷卻方法在權利要求書中公布了：1.一種化學氣相沉積后硅片連續反應冷卻裝置，其特征在于，包括： 底座（1），底座（1）頂面固定安裝有工作臺（2），底座（1）側壁固定安裝有連接板（3）和處理器（7），底座（1）頂面設有兩個支架（4），支架（4）右側壁固定安裝有固定板（36），固定板（36）頂面中心處固定安裝有石墨放置座二（37），工作臺（2）前側壁固定安裝有配電箱（5），配電箱（5）一側設有控制器（6），連接板（3）頂面固定安裝有機械夾爪（8），機械夾爪（8）末端夾持石墨放置座一（9）且其上設有用于放置高溫硅片的凹槽； 工作臺（2）上通過移動組件安裝有移動板（10），移動板（10）頂面固定安裝有機械臂（11），機械臂（11）輸出端固定安裝有噴氣頭一（12），噴氣頭一（12）側壁固定安裝有反射板（13），工作臺（2）后側壁固定安裝有儲存箱（14）、排氣泵（15），儲存箱（14）與排氣泵（15）間設有連接管一（16），排氣泵（15）與噴氣頭一（12）間設有連接管二（17），支架（4）上通過驅動組件安裝有驅動板（18），驅動板（18）頂面開設有圓槽（19），驅動板（18）頂面固定安裝有凹形板（20），凹形板（20）底面固定安裝有電推桿（21），電推桿（21）輸出軸固定安裝有噴氣頭二（22），噴氣頭二（22）底面固定安裝有激光測距儀（23），噴氣頭二（22）一側設有與連接管二（17）連通的連接管三（24），連接管三（24）內設有球閥。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州阿童木科技有限公司，其通訊地址為：311402 浙江省杭州市富陽區銀湖街道中國智谷富春園區14號樓8樓829室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。