深圳中科飛測科技股份有限公司黃有為獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利照明模式切換方法、檢測方法、檢測系統及存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119987002B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510461261.1,技術領域涉及:G02B21/06;該發明授權照明模式切換方法、檢測方法、檢測系統及存儲介質是由黃有為;宋博文;陶陶;陳魯設計研發完成,并于2025-04-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本照明模式切換方法、檢測方法、檢測系統及存儲介質在說明書摘要公布了:本申請公開了一種照明模式切換方法、檢測方法、檢測系統及存儲介質,屬于半導體檢測技術領域。所述方法包括:響應于第一信號,控制照明模式切換為第一照明模式,以對載物臺上所承載的參考物進行均勻照明,第一信號用于指示檢測系統需要進行尋焦;響應于第二信號,控制照明模式切換為第二照明模式,以照亮目標區域并對載物臺上所承載的待測物進行光瞳濾波適配,第二信號用于指示尋焦完成;接收第三信號,并控制照明模式切換為第三照明模式,以對待測物進行掃描成像,第三信號用于指示對待測物的光瞳濾波適配完成。本申請能夠針對不同的工作場景進行照明模式的切換,從而滿足不同工作場景下的照明需求,實現檢測性能的提高。
本發明授權照明模式切換方法、檢測方法、檢測系統及存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種照明模式切換方法,其特征在于,所述方法包括: 響應于第一信號,控制照明模式切換為第一照明模式,以對載物臺上所承載的參考物進行均勻照明,所述第一信號用于指示檢測系統需要基于所述參考物進行尋焦,所述第一照明模式的照明光斑為面照明光斑; 響應于第二信號,控制所述照明模式切換為第二照明模式,以照亮目標區域并對所述載物臺上所承載的待測物進行光瞳濾波適配,所述第二信號用于指示尋焦完成,所述目標區域為所述待測物的部分區域,所述第二照明模式的照明光斑為局部照明光斑; 接收第三信號,并控制所述照明模式切換為第三照明模式,以對所述待測物進行掃描成像,所述第三信號用于指示對所述待測物的光瞳濾波適配完成,所述第三照明模式的照明光斑為線照明光斑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳中科飛測科技股份有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市龍華區觀瀾街道新瀾社區觀光路1301-14號101、102;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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