國科大杭州高等研究院楊萬麗獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉國科大杭州高等研究院申請的專利一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120231121B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510703918.0,技術領域涉及:C30B19/06;該發明授權一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟是由楊萬麗;林虹宇;張天寧;朱家旗;單玉鳳;俞國林;戴寧設計研發完成,并于2025-05-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟在說明書摘要公布了:本發明提供一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟,包括母液槽塊、槽板以及底托,母液槽塊放置于槽板上,母液槽塊和槽板一同放置于底托內,槽板上設置有用于放置襯底的襯底槽以及用于放置揮發源的揮發源槽,襯底槽和揮發源槽均開設于槽板面向母液槽塊的一面,其中,母液槽塊上設置有母液孔和吸附孔,母液孔內形成有用于放置母液的放置空間,且母液孔內放置有補償件,補償件與放置空間相接觸,吸附孔與母液孔間隔設置,吸附孔內設置有吸附件。這樣,實現母液成分的穩定,避免蒸汽凝結干擾,保護襯底,提升外延材料質量與成品率。
本發明授權一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟在權利要求書中公布了:1.一種用于鎵銦系合金液相外延生長的石墨舟,其特征在于,包括母液槽塊、槽板以及底托,所述母液槽塊放置于所述槽板上,所述母液槽塊和所述槽板一同放置于所述底托內,所述槽板上設置有用于放置襯底的襯底槽以及用于放置揮發源的揮發源槽,所述襯底槽和所述揮發源槽均開設于所述槽板面向所述母液槽塊的一面,其中,所述母液槽塊上設置有母液孔和吸附孔,所述母液孔內形成有用于放置母液的放置空間,且所述母液孔內放置有補償件,所述補償件與所述放置空間相接觸,所述吸附孔與所述母液孔間隔設置,所述吸附孔內設置有吸附件,所述補償件呈片狀且與所述母液的頂部相接觸, 所述襯底為銻化鎵材質,所述補償件為砷化銦材質,所述吸附件為銻化鎵材質,所述揮發源為金屬鎵材質,或者 所述襯底為砷化銦材質,所述補償件為砷化鎵材質,所述吸附件為砷化鎵材質,所述揮發源為金屬銦材質。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人國科大杭州高等研究院,其通訊地址為:310024 浙江省杭州市西湖區象山支弄1號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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