東莞市臺工電子機械科技有限公司王猛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東莞市臺工電子機械科技有限公司申請的專利一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120318227B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510783893.X,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法及系統是由王猛;李兵設計研發完成,并于2025-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法及系統在說明書摘要公布了:本發明涉及圖像數據處理技術領域,尤其涉及一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法及系統。方法包括:獲取晶片表面圖像的灰度圖像;將灰度圖像等分為若干個分塊;確定分塊的第一合格系數;獲取分塊內的邊緣像素點;確定分塊的第二合格系數;利用Naive層次聚類算法對灰度圖像進行聚類,以識別灰度圖像中的光滑區域,實現晶片表面的光滑度檢測。本發明通過引入第一合格系數和第二合格系數,綜合考慮了分塊內的多個因素,能夠更全面、細致地刻畫分塊的特征,從而有效區分不光滑區域和刻蝕紋理區域,減少了刻蝕紋理區域對不光滑區域判斷的干擾,提高了聚類的準確性,從而更準確地識別不光滑區域,保證晶片表面光滑度檢測的精度。
本發明授權一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種用于目檢機的晶片表面光滑度檢測方法,其特征在于,包括: 獲取晶片表面圖像的灰度圖像; 將灰度圖像等分為若干個分塊; 根據灰度圖像內所有像素點的灰度值中的中位數、分塊內的所有像素點的灰度值的均值,以及分塊內所有像素點的灰度值中的眾數值的數量,確定分塊的第一合格系數,第一合格系數滿足:;式中,為第個分塊的第一合格系數,為灰度圖像內所有像素點的灰度值中的中位數,為第個分塊內的所有像素點的灰度值的均值,為第個分塊內所有像素點的灰度值中的眾數值的數量,為超參數,為絕對值符號; 將分塊內在任一鄰域方向存在梯度幅值變化的像素點記為邊緣像素點; 響應于分塊內包含邊緣像素點,則根據所述第一合格系數、分塊內邊緣像素點的數量、分塊內所有邊緣像素點的最小外接矩形內像素點的數量,以及分塊內所有邊緣像素點對應的梯度幅值的信息熵值,確定分塊的第二合格系數,否則,將分塊的第一合格系數賦值于分塊的第二合格系數; 第二合格系數滿足:;式中,為第個分塊的第二合格系數,為第個分塊內邊緣像素點的數量,為第個分塊內所有邊緣像素點的最小外接矩形內像素點的數量,為第個分塊內所有邊緣像素點對應的梯度幅值的信息熵值,為標準歸一化函數; 將分塊之間的第二合格系數的差異,作為Naive層次聚類算法在處理圖像時分塊之間的距離進行聚類,得到Naive層次聚類算法的樹狀圖,以識別灰度圖像中的光滑區域,實現晶片表面的光滑度檢測。
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