深圳市微恒自動化設備有限公司唐文軒獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市微恒自動化設備有限公司申請的專利一種頂針自動調節裝置及頂針自動調節方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111370361B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010186849.8,技術領域涉及:H01L21/683;該發明授權一種頂針自動調節裝置及頂針自動調節方法是由唐文軒;楊世國設計研發完成,并于2020-03-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種頂針自動調節裝置及頂針自動調節方法在說明書摘要公布了:本發明涉及到半導體生產設備技術領域,提供了一種頂針自動調節裝置及頂針自動調節方法,包括位移機構、驅動機構、頂針機構,所述驅動機構、頂針機構均連接于所述位移機構,所述驅動機構驅動所述位移機構產生位移,所述頂針機構隨所述位移機構進行位移。依靠電機與位移機構連接實現X、Y、Z向調整移動,通過電機的聯動,實現X、Y、Z三軸動作達到自動化生產的目的,提高自動化程度,提升生產效率,解決精度低,易造成不良品質的問題。
本發明授權一種頂針自動調節裝置及頂針自動調節方法在權利要求書中公布了:1.一種頂針自動調節裝置,其特征在于,包括位移機構、驅動機構、頂針機構,所述驅動機構、頂針機構均連接于所述位移機構,所述驅動機構驅動所述位移機構產生位移,所述頂針機構隨所述位移機構進行位移; 所述位移機構包括第一拉簧、第一夾緊條、第一基塊,第二拉簧、第二夾緊條和第二基塊,所述第一夾緊條的一端通過所述第一拉簧與所述第一基塊連接,所述第二夾緊條的一端通過所述第二拉簧與所述第二基塊連接; 所述驅動機構包括第一電機座、第一軸承、第一偏心位移機構和第一電機,所述第一電機安裝于所述第一電機座,所述第一軸承通過所述第一偏心位移機構與所述第一電機相連,所述第一軸承夾緊于所述第一夾緊條內;所述驅動機構還包括第二電機座、第二軸承、第二偏心位移機構、第二電機,所述第二電機安裝于所述第二電機座,所述第二軸承通過所述第二偏心位移機構與所述第二電機相連,所述第二軸承夾緊于所述第二夾緊條內; 其中,所述第一拉簧和第一夾緊條可調地夾緊所述第一偏心位移機構,在所述第一偏心位移機構的作用下帶動所述第一基塊作出相應位移,所述第二拉簧和所述第二夾緊條可調地夾緊所述第二偏心位移機構,在所述第二偏心位移機構作用下帶動所述第二基塊作出相應位移。
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