ASML荷蘭有限公司J·M·盧肯斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利用于控制液滴形成的裝置和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113812214B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080033893.3，技術領域涉及：H05G2/00；該發明授權用于控制液滴形成的裝置和方法是由J·M·盧肯斯設計研發完成，并于2020-04-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于控制液滴形成的裝置和方法在說明書摘要公布了：用于控制用于生成EUV輻射的液滴形成的裝置和方法，包括產生指向輻照區域和液滴源的激光束的裝置。該液滴源包括具有噴嘴的毛細管和用于在該毛細管中的液體源材料中產生干擾的電致動元件。該液滴源產生流，該流破碎為液滴，當它們朝著該輻照區域前進時，該液滴進而聚結為更大的液滴。該電致動元件由與控制所述液滴生成聚結過程的該液滴源的至少一個諧振相關聯的波形驅動。
本發明授權用于控制液滴形成的裝置和方法在權利要求書中公布了：1.一種源材料分發器，包括： 毛細管；以及 電致動元件，所述電致動元件機械地耦合至所述毛細管并且與所述毛細管同軸布置， 所述毛細管和所述電致動元件中的至少一個的至少一個尺寸被選擇為使得所述源材料分發器在周期控制信號的頻率分量處具有諧振模式， 其中所述周期控制信號使所述電致動元件在所述毛細管中生成具有與所述周期控制信號的波分量的頻率基本相同的波頻的縱波，所述縱波沿著所述毛細管的長度傳播以在軸向方向上位移所述毛細管的尖端，以促進離開所述毛細管尖端中的噴嘴孔口的源材料射流的瑞利破碎。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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