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龍圖騰網(wǎng)獲悉卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司申請的專利用于安裝光學(xué)系統(tǒng)的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114746812B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080084070.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)用于安裝光學(xué)系統(tǒng)的方法是由J.多恩;S.弗里茨切;W.格林;P.尼蘭設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-11-12向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于安裝光學(xué)系統(tǒng)的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及用于安裝特別是光刻設(shè)備100A、100B的光學(xué)系統(tǒng)104的方法，包括以下步驟：a測量S700、S702光學(xué)系統(tǒng)104的部件K1–KN以便提供測量數(shù)據(jù)MEM、OEM，其中N1，b借助于所提供的測量數(shù)據(jù)MEM、OEM虛擬化S704部件K1–KN并根據(jù)虛擬化的部件K1–KN生成S708實際安裝模型IMM，實際安裝模型IMM包含虛擬化的部件K1–KN的處于虛擬安裝狀態(tài)下的虛擬實際位置Pactual、Pactual_KN?1、Pactual_K2，c根據(jù)實際安裝模型IMM和目標(biāo)安裝模型SMM確定S710校正措施，其中目標(biāo)安裝模型SMM包含虛擬化的部件K1–KN中的一個或多個處于虛擬安裝狀態(tài)下的虛擬目標(biāo)位置Ptarget，以及d使用校正措施安裝S712部件K1?KN以形成光學(xué)系統(tǒng)104。

本發(fā)明授權(quán)用于安裝光學(xué)系統(tǒng)的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于裝配光學(xué)系統(tǒng)104的方法，包括以下步驟： a測量S700、S702所述光學(xué)系統(tǒng)104的單獨部分K1–KN以達到提供測量數(shù)據(jù)MEM、OEM的目的，其中N1， b借助于所提供的測量數(shù)據(jù)MEM、OEM虛擬化S704所述單獨部分K1–KN并通過將多個虛擬化的單獨部分K1–KN幾何形式地串接在一起根據(jù)所述虛擬化的單獨部分K1–KN生成S708實際裝配模型IMM，所述實際裝配模型IMM包含所述虛擬化的單獨部分K1–KN的處于虛擬裝配狀態(tài)下的虛擬實際位置Pactual、Pactual_KN-1、Pactual_K2， c基于所述實際裝配模型IMM和目標(biāo)裝配模型SMM確定S710校正措施，所述目標(biāo)裝配模型SMM包含所述虛擬化的單獨部分K1–KN中的一個或多個處于所述虛擬裝配狀態(tài)下的虛擬目標(biāo)位置Ptarget，以及 d使用所述校正措施裝配S712所述單獨部分K1-KN以形成所述光學(xué)系統(tǒng)104。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。