科米特技術美國股份有限公司S·E·薩瓦斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉科米特技術美國股份有限公司申請的專利基于等離子體的晶圓處理系統的扇區分流獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114946008B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180008894.7，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權基于等離子體的晶圓處理系統的扇區分流是由S·E·薩瓦斯;A·德尚布里耶設計研發完成，并于2021-01-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于等離子體的晶圓處理系統的扇區分流在說明書摘要公布了：一種射頻等離子體處理系統，包括：反應室；電極，具有電極對稱軸，所述電極部署在所述反應室中；以及多個板，每個板具有導電層，在距電極表面的間隙處在所述電極的周界周圍相對于所述電極對稱軸以方位角部署在所述反應室中，所述多個板中的每個板通過可變電抗電路連接到電氣地。
本發明授權基于等離子體的晶圓處理系統的扇區分流在權利要求書中公布了：1.一種射頻等離子體處理系統，包括： 反應室，接收激發等離子體的射頻功率； 電極，為所述等離子體供電并部署在所述反應室內； 多個傳感器，部署在所述反應室內并且與所述電極的周界相鄰地定位并且在所述電極的周界周圍間隔開，每個傳感器連接到相應的可變阻抗電路并且被配置為檢測所述等離子體內的參數；以及 阻抗匹配網絡，適于基于從所述多個傳感器接收到的傳感器信號的分析改變每個可變阻抗電路，以便在每個傳感器與電氣地之間提供指定的分流阻抗。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人科米特技術美國股份有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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