富泰華工業(深圳)有限公司;鴻海精密工業股份有限公司蔣光浩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉富泰華工業(深圳)有限公司;鴻海精密工業股份有限公司申請的專利鰭式場效應晶體管的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114914287B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110183359.7,技術領域涉及:H10D62/10;該發明授權鰭式場效應晶體管的制備方法是由蔣光浩設計研發完成,并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本鰭式場效應晶體管的制備方法在說明書摘要公布了:一種鰭式場效應晶體管的制備方法包括:提供襯底以及位于襯底一表面上的間隔設置的多個鰭式結構;在相鄰的鰭式結構之間形成淺溝道隔離結構;在淺溝道隔離結構遠離襯底的一側形成應力層,應力層包裹多個鰭式結構遠離襯底的部分;對應力層和多個鰭式結構進行熱處理;以及移除應力層。通過在狹長的鰭式結構的上端部分設置完全包裹其上端部分的應力層,產生由所述多個鰭式結構的邊緣向中間施加拉拽力的效果,由此可加強每一個鰭式結構的挺立效果,避免鰭式結構出現歪斜彎曲。
本發明授權鰭式場效應晶體管的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種鰭式場效應晶體管的制備方法,其特征在于:其包括: 提供襯底以及位于所述襯底一表面上的間隔設置的多個鰭式結構; 在相鄰的鰭式結構之間形成淺溝道隔離結構,所述淺溝道隔離結構的設置使每一個鰭式結構被劃分成第一部分和第二部分,所述第一部分與所述淺溝道隔離結構接觸連接,而所述第二部分相對所述淺溝道隔離結構露出,所述第二部分包括背離所述襯底的頂面以及連接所述頂面的側面; 在所述淺溝道隔離結構遠離所述襯底的一側形成應力層,所述應力層完全包裹所述第二部分的頂面和側面; 對所述應力層和所述多個鰭式結構進行熱處理;以及 移除所述應力層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人富泰華工業(深圳)有限公司;鴻海精密工業股份有限公司,其通訊地址為:518109 廣東省深圳市龍華新區觀瀾街道大三社區富士康觀瀾科技園B區廠房4棟、6棟、7棟、13棟(Ⅰ段);或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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