ASML荷蘭有限公司R·沙雷伊恩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利插補器模型的配置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115427894B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180029601.3,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權插補器模型的配置是由R·沙雷伊恩;V·巴斯塔尼;D·格科魯;T·多斯桑托斯古澤拉設計研發完成,并于2021-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本插補器模型的配置在說明書摘要公布了:配置用于插補第二參數的插補器模型的設備和方法。所述方法包括將包括第一參數的值的第一數據集輸入至所述插補器模型,并且評估所述插補器模型以獲得包括所述第二參數的經插補值的第二數據集。所述方法還包括:獲得包括第三參數的測量值的第三數據集,其中所述第三參數與所述第二參數相關;獲得預測模型,所述預測模型被配置成基于輸入所述第二參數的值來推斷所述第三參數的值;將所述第二數據集輸入至所述預測模型,并且評估所述預測模型以獲得所述第三參數的推斷值;以及基于所述第三參數的所述推斷值與所述測量值的比較來配置所述插補器模型。
本發明授權插補器模型的配置在權利要求書中公布了:1.一種計算機程序產品,包括用以進行以下操作的計算機可讀指令: 接收用于插補器模型的輸入數據以獲得經插補數據,其中所述經插補數據至少包括所述輸入數據的子集; 獲得識別經插補數據內的經插補數據條目和非經插補數據條目的第一列表; 將經插補數據輸入至分析器模型,所述分析器模型被配置成辨別經插補數據的經插補數據條目和非經插補數據條目,并且輸出識別經插補數據的經插補數據條目和非經插補數據條目的第二列表;以及 基于比較所述第一列表與所述第二列表來配置所述插補器模型。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司,其通訊地址為:荷蘭維德霍溫;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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