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龍圖騰網獲悉羅伯特·博世有限公司申請的專利蓋器件或蓋晶圓的制造方法、微機械封裝的制造方法、封裝器件的方法、蓋晶圓、蓋器件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113548635B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110442373.4，技術領域涉及：B81B7/02；該發明授權蓋器件或蓋晶圓的制造方法、微機械封裝的制造方法、封裝器件的方法、蓋晶圓、蓋器件是由J·賴因穆特;S·平特設計研發完成，并于2021-04-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本蓋器件或蓋晶圓的制造方法、微機械封裝的制造方法、封裝器件的方法、蓋晶圓、蓋器件在說明書摘要公布了：本發明涉及一種通過以下步驟制造蓋器件或蓋晶圓的制造方法：在第一襯底的第一襯底表面上形成第一凹槽和第二凹槽，使得借助第一凹槽由第一襯底的材料形成穿通的第一框架結構，通過第二襯底形成至少一個連續的凹部，使得借助連續的凹部由第二襯底的材料形成封閉的第二框架結構，借助封閉的第二框架結構覆蓋第二凹槽，在第一框架結構和第二框架結構上構造以后的蓋器件或以后的蓋晶圓的部分外表面，使得第二凹槽作為通道穿通部分外表面。本發明還涉及一種用于制造用于至少一個器件的微機械封裝的方法以及一種用于封裝至少一個器件的方法。本發明還涉及一種蓋晶圓、一種蓋器件、一種用于至少一個器件的微機械封裝以及一種裝置。

本發明授權蓋器件或蓋晶圓的制造方法、微機械封裝的制造方法、封裝器件的方法、蓋晶圓、蓋器件在權利要求書中公布了：1.一種用于制造至少一個蓋器件46或蓋晶圓44的制造方法，所述制造方法具有以下步驟： 在第一襯底14的第一襯底表面14a中如此形成至少一個第一凹槽10和至少一個第二凹槽12，使得借助所述至少一個第一凹槽10各形成一個由所述第一襯底14的材料形成的、穿通的第一框架結構18，所述穿通的第一框架結構分別包圍一個構造在其內側18a上的第一凹槽10，并且所述穿通的第一框架結構被通到相應的第一凹槽10中的至少一個第二凹槽12穿通； 通過第二襯底24如此形成至少一個貫穿的凹部28，使得借助所述至少一個貫穿的凹部28各形成一個由所述第二襯底24的材料形成的、封閉的第二框架結構30，并且，在形成所述至少一個貫穿的凹部28或形成至少一個封閉的第二框架結構30之前，將所述第二襯底24如此固定在所述至少一個穿通的第一框架結構18的內側18a上，使得所述至少一個第二凹槽12在所述至少一個穿通的第一框架結構18的所述內側18a上被所述至少一個封閉的第二框架結構30覆蓋； 在至少一個第一框架結構18和所述至少一個第二框架結構30上如此構造至少一個以后的蓋器件46的或以后的蓋晶圓44的至少一個部分外表面36，使得所述至少一個第二凹槽12作為通道16穿通所述至少一個以后的蓋器件46或所述以后的蓋晶圓44的所述至少一個部分外表面36，其中，在構造所述至少一個以后的蓋器件46或所述以后的蓋晶圓44的所述至少一個部分外表面36時，通過以下步驟構造所述至少一個以后的蓋器件46或所述以后的蓋晶圓44的至少一個窗附接面36： 在所述第一襯底14的背離所述第一襯底表面14a地指向的第二襯底表面14b中構造至少一個傾斜的鋸切口或銑削切口38，其中，所述傾斜的鋸切口或銑削切口38構造在第一切口方向上，所述第一切口方向具有相對于所述第一襯底14的第二襯底表面14b處于10°至80°之間的第一傾斜角； 在構造所述至少一個傾斜的鋸切口或銑削切口38之前、同時或之后，在所述第一襯底14的第二襯底表面14b中構造至少一個垂直的鋸切口或銑削切口42，其中，所述垂直的鋸切口或銑削切口42構造在第二切口方向上，所述第二切口方向具有相對于所述第一襯底14的第二襯底表面14b處于80°至90°之間的第二傾斜角。

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