中微半導體設備(上海)股份有限公司龐云玲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中微半導體設備(上海)股份有限公司申請的專利加熱裝置、CVD設備及半導體工藝處理的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115772660B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111039519.7，技術領域涉及：C23C16/46；該發明授權加熱裝置、CVD設備及半導體工藝處理的方法是由龐云玲;姜勇設計研發完成，并于2021-09-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本加熱裝置、CVD設備及半導體工藝處理的方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種加熱裝置，用于CVD設備，包含：布置在反應室上方的上燈模塊和或反應室下方的下燈模塊；所述上燈模塊、下燈模塊包含由多個加熱燈形成的上燈陣列、下燈陣列；通過所述上燈陣列、下燈陣列加熱所述基片承載臺以及基片；所述加熱燈包括一管狀燈體和位于管狀燈體兩端的電極端，所述上燈模塊、下燈模塊中的電極端分別朝上、下進行電連接；所述管狀燈體內設有沿管狀燈體延伸的燈絲；所述上燈陣列、下燈陣列可以分區控制加熱功率本發明還包含一種CVD設備及一種半導體工藝處理的方法。本發明能夠提高加熱裝置的熱能利用率，且能夠精準控制各加熱燈的加熱功率，防止相鄰加熱燈之間出現冷點，有效保證基片表面均溫。
本發明授權加熱裝置、CVD設備及半導體工藝處理的方法在權利要求書中公布了：1.一種加熱裝置，用于CVD設備，所述CVD設備的反應室內包含用于承載基片的基片承載臺，其特征在于，所述加熱裝置包含：布置在反應室上方的上燈模塊和或反應室下方的下燈模塊； 所述上燈模塊、下燈模塊包含由多個加熱燈形成的上燈陣列、下燈陣列；通過所述上燈陣列、下燈陣列加熱所述基片承載臺以及基片； 所述加熱燈包括一管狀燈體、兩個封閉端和位于管狀燈體兩端的電極端，所述上燈模塊、下燈模塊中的管狀燈體的兩端分別朝上、朝下彎曲，所述上燈模塊、下燈模塊中的電極端分別朝上、下進行電連接；所述管狀燈體內設有沿管狀燈體延伸的燈絲；所述上燈陣列、下燈陣列可以分區控制加熱功率； 兩個所述封閉端分別用于封堵所述管狀燈體的兩端，兩個所述電極分別設置在兩個所述封閉端上； 所述管狀燈體包含兩個豎直加熱段，以及在所述兩個豎直加熱段之間的水平加熱段；水平加熱段的長度方向為加熱燈的長度方向；通過相鄰的豎直加熱段補償相鄰加熱燈之間的冷點。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中微半導體設備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201201 上海市浦東新區金橋出口加工區（南區）泰華路188號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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