西安電子科技大學毛維獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安電子科技大學申請的專利交錯調(diào)制型雙向阻斷器件及其制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114883324B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210599885.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D84/40;該發(fā)明授權(quán)交錯調(diào)制型雙向阻斷器件及其制作方法是由毛維;裴晨;楊翠;彭國良;杜鳴;馬佩軍;鄭雪峰;張進成;郝躍設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-05-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本交錯調(diào)制型雙向阻斷器件及其制作方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種交錯調(diào)制型雙向阻斷器件,主要解決現(xiàn)有器件只能單向阻斷及開啟電壓高的問題。其自下而上包括:襯底、過渡層、勢壘層和鈍化層,鈍化層左側(cè)設(shè)有源極;勢壘層和鈍化層的右側(cè)設(shè)有凹槽陽極;鈍化層和凹槽陽極的上表面設(shè)有互連金屬;互連金屬下方設(shè)有N個左陣列塊與M個右陣列塊,這些陣列塊的下部均位于過渡層內(nèi);源極與左陣列塊之間的鈍化層內(nèi)部設(shè)有窗口,其內(nèi)依次設(shè)有P型塊和i?GaN塊和柵極,該柵極、源極、陣列塊及凹槽陽極構(gòu)成HEMT結(jié)構(gòu),并與由陣列塊、凹槽陽極及與其接觸的半導體材料所構(gòu)成的二極管復合,形成雙向阻斷器件。本發(fā)明能降低開啟電壓,實現(xiàn)雙向阻斷并提升閾值電壓,可用于電力電子系統(tǒng)。
本發(fā)明授權(quán)交錯調(diào)制型雙向阻斷器件及其制作方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種交錯調(diào)制型雙向阻斷器件,自下而上包括:襯底1、過渡層2、勢壘層3和鈍化層4,其特征在于: 所述勢壘層3上部的鈍化層4的左側(cè)設(shè)置有源極槽5,該源極槽內(nèi)部設(shè)置有源極6; 所述勢壘層3和鈍化層4的右側(cè)設(shè)置有凹槽陽極12,該凹槽陽極的底部位于過渡層2中; 所述凹槽陽極12和鈍化層4的上表面設(shè)有互連金屬13; 所述互連金屬13左部的下方設(shè)有N個左陣列塊10,互連金屬13中部的下方設(shè)有M個右陣列塊11,左陣列塊10和右陣列塊11的下部位于過渡層2中; 所述源極6與左陣列塊10之間的鈍化層4內(nèi)部設(shè)有窗口14,其內(nèi)部自下而上依次設(shè)有P型塊15、i-GaN塊16、柵極17; 所述源極6、柵極17與右側(cè)的陣列塊及凹槽陽極12構(gòu)成HEMT結(jié)構(gòu),陣列塊、凹槽陽極12與其接觸的勢壘層3和鈍化層4之間形成二極管結(jié)構(gòu),HEMT與二極管復合形成雙向阻斷器件。
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