中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所康黎星獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所申請的專利一種單晶β-氧化鎵納米片的制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116024545B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202310063870.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C16/06;該發(fā)明授權(quán)一種單晶β-氧化鎵納米片的制備方法是由康黎星;劉帥;張蓉;李清文設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-01-12向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種單晶β-氧化鎵納米片的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種單晶β?氧化鎵納米片的制備方法。所述制備方法包括:采用化學(xué)氣相沉積的方法,以氧氣作為氧化劑對金屬鎵進行直接氧化,在具有限域空間的襯底材料表面生長形成單晶β?氧化鎵納米片。本發(fā)明通過引入空間限域的方法來實現(xiàn)對二維超薄單晶β?氧化鎵納米片的合成,利用氧氣做氧化劑,實現(xiàn)對金屬鎵直接氧化來制備氧化鎵納米片,無需催化劑、工藝簡單、生產(chǎn)成本低,制備出大尺寸、高質(zhì)量、厚度可控的單晶β?氧化鎵納米片,可用于紫外光電探測器和大功率電子器件等方面的研究和應(yīng)用。
本發(fā)明授權(quán)一種單晶β-氧化鎵納米片的制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種單晶β-氧化鎵納米片的制備方法,其特征在于,包括: 將兩個襯底相對疊加設(shè)置,在襯底上形成限域空間; 沿氧氣的氣流方向,將金屬鎵、具有限域空間的襯底材料依次放置于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室內(nèi),金屬鎵與具有限域空間的襯底之間具有選定間距,所述選定間距為2~10cm; 使反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度升溫至900~1050°C,通入氧氣反應(yīng)5~30min,在具有限域空間的襯底表面生長形成單晶β-氧化鎵納米片,所述單晶β-氧化鎵納米片的長度在100μm以上,寬度在10μm以上,所述單晶β-氧化鎵納米片為二維結(jié)構(gòu),其厚度為10~100nm。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所,其通訊地址為:215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)獨墅湖高教區(qū)若水路398號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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