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龍圖騰網獲悉浙江晨華科技有限公司申請的專利一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117026210B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311052891.0，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備是由孫礦;徐煒設計研發完成，并于2023-08-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備在說明書摘要公布了：本發明提供了一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備，包括設備本體，所述設備本體包括內腔，所述內腔中設有反應倉，所述反應倉包括依次連通的進氣通道、沉積倉和排氣通道；所述沉積倉的一側與進氣通道相連通，所述進氣通道內水平設置有用于供給氣體原料的進氣管，所述進氣管的外表面環繞設有加熱管；所述沉積倉內設有加熱臺，基片放置在所述加熱臺上，所述加熱臺朝向進氣通道呈傾斜設置；所述沉積倉遠離進氣通道的一側與排氣通道相連通，所述排氣通道與沉積倉的交界處設有加熱網；所述沉積倉的上方設有均流裝置。本申請解決了現有技術中存在的現有的化學氣相沉積設備內部氣體密度很難保持均勻，導致基板上形成的膜厚不均勻的問題。

本發明授權一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種產品附著均勻的化學氣相沉積設備，包括設備本體30，其特征在于：所述設備本體30包括內腔1，所述內腔1中設有反應倉2，所述反應倉2包括依次連通的進氣通道3、沉積倉4和排氣通道5； 所述沉積倉4的一側與進氣通道3相連通，所述進氣通道3內水平設置有用于供給氣體原料的進氣管6，所述進氣管6的外表面環繞設有加熱管7； 所述沉積倉4內設有加熱臺11，基片15放置在所述加熱臺11上，所述加熱臺11朝向進氣通道3呈傾斜設置；所述加熱臺11包括加熱底板12和加熱蓋板13，所述加熱底板12的表面開設有蛇形加熱槽14，所述蛇形加熱槽14內安裝有蛇形加熱列管16；所述加熱蓋板13設置于所述加熱底板12上方，所述加熱蓋板13覆蓋蛇形加熱槽14，所述基片15放置在加熱蓋板13上； 所述沉積倉4內設有基礎臺9，所述基礎臺9的上表面通過轉軸鉸接設有支撐臺10，所述加熱臺11設置在支撐臺10的上端，所述基礎臺9上還設有用于調節加熱臺11傾斜角度的調節機構； 所述沉積倉4遠離進氣通道3的一側與排氣通道5相連通，所述排氣通道5與沉積倉4的交界處設有加熱網20； 所述沉積倉4的上方設有均流裝置；所述均流裝置包括均流盤21，所述均流盤21為螺旋形氣管，所述螺旋形氣管的下表面均勻開設有出氣孔22，所述螺旋形氣管用于供給同一種氣體原料；所述螺旋形氣管的上端設有金屬波紋管23。

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