深圳技術大學董波獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉深圳技術大學申請的專利光纖微腔濕度傳感器及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118169077B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410317902.1，技術領域涉及：G01N21/45；該發明授權光纖微腔濕度傳感器及其制造方法是由董波;張森鵬;陳宗渝;黃沃斌設計研發完成，并于2024-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本光纖微腔濕度傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種光纖微腔濕度傳感器及其制造方法，該光纖微腔濕度傳感器，包括硅片、濕敏材料層、單模光纖以及傳感器外殼，濕敏材料層濺射于所述硅片的內表面，所述濕敏材料層與所述硅片的外表面之間形成硅片腔；單模光纖伸向且不接觸所述濕敏材料層，所述單模光纖的伸出端面與所述濕敏材料層之間形成空氣腔；傳感器外殼包括固定所述濕敏材料層的第一支撐臺以及固定所述單模光纖的第二支撐臺，所述單模光纖穿設于所述第二支撐臺并伸向所述第一支撐臺，用于使所述單模光纖的伸出端面與所述濕敏材料層之間形成所述空氣腔；其中，所述空氣腔與所述硅片腔構建成級聯結構，以實現光學游標效應對傳感器靈敏度的放大。
本發明授權光纖微腔濕度傳感器及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種光纖微腔濕度傳感器，其特征在于，包括： 硅片， 濕敏材料層，濺射于所述硅片的內表面，所述濕敏材料層與所述硅片的外表面之間形成硅片腔，所述濕敏材料層為MoS2材料； 單模光纖，伸向且不接觸所述濕敏材料層，所述單模光纖的伸出端面與所述濕敏材料層之間形成空氣腔； 傳感器外殼，包括固定所述濕敏材料層的第一支撐臺以及固定所述單模光纖的第二支撐臺，所述單模光纖的伸出端面穿設于所述第二支撐臺并伸向所述第一支撐臺，用于使所述單模光纖的伸出端面與所述濕敏材料層之間形成所述空氣腔；傳感器外殼還包括若干連接柱，所述連接柱的兩端分別連接所述第一支撐臺以及所述第二支撐臺，使所述第一支撐臺與所述第二支撐臺之間形成外殼鏤空腔； 其中，所述空氣腔與所述硅片腔構建成級聯結構，以實現光學游標效應對傳感器靈敏度的放大。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳技術大學，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市坪山區蘭田路3002號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號