合肥晶合集成電路股份有限公司金文祥獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利研磨盤及研磨裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán),本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN223313751U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉:該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202422188448.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B24B37/12;該實(shí)用新型研磨盤及研磨裝置是由金文祥;童文龍;吳凱;王濤濤設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-09-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本研磨盤及研磨裝置在說明書摘要公布了:本申請涉及一種研磨盤及研磨裝置,研磨盤包括:研磨環(huán);多個(gè)球形萬向桿,每個(gè)球形萬向桿的一端形成有一個(gè)萬向球頭;多個(gè)研磨刀頭,每個(gè)研磨刀頭的連接面形成有球形腔,多個(gè)球形萬向桿的萬向球頭位于多個(gè)研磨刀頭的球形腔內(nèi),以使多個(gè)球形萬向桿與多個(gè)研磨刀頭可轉(zhuǎn)動(dòng)連接;其中,多個(gè)球形萬向桿的連接端與研磨環(huán)固定連接,每個(gè)研磨刀頭的研磨面為斜面。通過將設(shè)置研磨刀頭的研磨面設(shè)置為斜面,并通過球形萬向桿和研磨環(huán)給研磨刀頭提供壓力,避免了研磨刀頭的直角對晶圓邊緣造成損壞,能夠提升研磨效率、降低研磨成本。
本實(shí)用新型研磨盤及研磨裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種研磨盤,其特征在于,包括: 研磨環(huán); 多個(gè)球形萬向桿,每個(gè)球形萬向桿的一端形成有一個(gè)萬向球頭; 多個(gè)研磨刀頭,每個(gè)研磨刀頭的連接面形成有球形腔,所述多個(gè)球形萬向桿的萬向球頭位于多個(gè)研磨刀頭的球形腔內(nèi),以使多個(gè)球形萬向桿與多個(gè)研磨刀頭可轉(zhuǎn)動(dòng)連接; 其中,所述多個(gè)球形萬向桿的連接端與所述研磨環(huán)固定連接,每個(gè)研磨刀頭的研磨面為斜面。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人合肥晶合集成電路股份有限公司,其通訊地址為:230012 安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)西淝河路88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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