佛山市國星半導(dǎo)體技術(shù)有限公司李軍政獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉佛山市國星半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請的專利GaN薄膜功率器件及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119997548B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510407818.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D30/47;該發(fā)明授權(quán)GaN薄膜功率器件及其制備方法是由李軍政;陳凱;董澤鑫;鐘美云設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-04-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本GaN薄膜功率器件及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及晶體管領(lǐng)域,具體公開了一種GaN薄膜功率器件及其制備方法。其中,GaN薄膜功率器件包括包括復(fù)合調(diào)節(jié)層、緩沖層、溝道層、勢壘層、鈍化層、柵極電極、源極電極和漏極電極,所述復(fù)合調(diào)節(jié)層、所述緩沖層、所述溝道層、所述勢壘層、所述鈍化層和所述柵極電極依次層疊;所述源極電極、所述漏極電極設(shè)于所述柵極電極的兩側(cè),并穿過所述鈍化層延伸至所述勢壘層中;所述復(fù)合調(diào)節(jié)層包括依次層疊的HfO2層、AlON層、BGaN層和SiN層。實(shí)施本發(fā)明,可減少襯底剝離過程中各項(xiàng)性能的損失,且提升耐壓性能。
本發(fā)明授權(quán)GaN薄膜功率器件及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種GaN薄膜功率器件,其特征在于,包括復(fù)合調(diào)節(jié)層、緩沖層、溝道層、勢壘層、鈍化層、柵極電極、源極電極和漏極電極,所述復(fù)合調(diào)節(jié)層、所述緩沖層、所述溝道層、所述勢壘層、所述鈍化層和所述柵極電極依次層疊;所述源極電極、所述漏極電極設(shè)于所述柵極電極的兩側(cè),并穿過所述鈍化層延伸至所述勢壘層中; 所述復(fù)合調(diào)節(jié)層包括依次層疊的HfO2層、AlON層、BGaN層和SiN層。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人佛山市國星半導(dǎo)體技術(shù)有限公司,其通訊地址為:528200 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)羅村朗沙廣東新光源產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)光明大道18號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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