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龍圖騰網獲悉季華實驗室申請的專利一種雙層磁流體密封裝置及氣相沉積設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120464991B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510956107.1，技術領域涉及：C23C16/54；該發明授權一種雙層磁流體密封裝置及氣相沉積設備是由邢培帥;彭冬梅;郭曉東;侯少毅;何斌;黎天韻設計研發完成，并于2025-07-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種雙層磁流體密封裝置及氣相沉積設備在說明書摘要公布了：本發明涉及氣相沉積設備技術領域，特別是一種雙層磁流體密封裝置及氣相沉積設備。雙層磁流體密封裝置包括真空腔體、反應托盤、旋轉軸組件、加熱組件、旋轉組件、第一密封裝置和第二密封裝置，旋轉軸組件包括內軸體、外殼體和軸承，外殼體與真空腔體固接，內軸體通過軸承可旋轉地安裝于外殼體內，內軸體的頂部與反應托盤固接，加熱組件設置在內軸體內，第一密封裝置設置在內軸體和外殼體之間；第二密封裝置設置在內軸體和外殼體之間。通過將電極內置至旋轉軸組件內，采用雙層磁流體密封裝置分別隔離真空環境、外部環境及電極保護氣體環境，解決了電極裸露氧化問題，同時實現多重氣體環境的獨立密封。

本發明授權一種雙層磁流體密封裝置及氣相沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種雙層磁流體密封裝置，其特征在于，包括： 真空腔體（100），所述真空腔體（100）內設有第一空間； 反應托盤（200），所述反應托盤（200）設置在所述第一空間內，用于放置工件； 旋轉軸組件，所述旋轉軸組件伸入所述第一空間內，所述旋轉軸組件包括內軸體（310）、外殼體（320）和軸承（330），所述外殼體（320）與所述真空腔體（100）固接，所述內軸體（310）通過所述軸承（330）可旋轉地安裝于所述外殼體（320）內，所述內軸體（310）的頂部與所述反應托盤（200）固接，所述內軸體（310）內部設有第二空間； 加熱組件（400），所述加熱組件（400）設置在所述第二空間內，用于對所述反應托盤（200）進行加熱； 旋轉組件（600），所述旋轉組件（600）與所述內軸體（310）的中部傳動連接，所述旋轉組件（600）驅動所述內軸體（310）帶動所述反應托盤（200）旋轉； 第一密封裝置（500），所述第一密封裝置（500）設置在所述內軸體（310）和外殼體（320）之間，且位于所述旋轉組件（600）上方，用于將所述第一空間與空氣隔絕； 第二密封裝置（700），所述第二密封裝置（700）設置在所述內軸體（310）和外殼體（320）之間，且位于所述旋轉組件（600）下方，用于將所述第二空間與空氣隔絕； 所述第一密封裝置（500）包括第一永磁鐵（510）、第一極靴（520）和第一磁流液（530），所述第一永磁鐵（510）和第一極靴（520）設置在所述外殼體（320）的內壁上，所述第一極靴（520）設置在所述第一永磁鐵（510）的兩側，所述內軸體（310）的外壁上設有第一磁液槽（311），所述第一磁流液（530）設置在所述第一磁液槽（311）內，所述第一極靴（520）、第一永磁鐵（510）和內軸體（310）構成第一磁性回路，所述第一磁流液（530）在所述第一磁性回路作用下形成用于密封所述第一空間的第一液體O型密封圈。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人季華實驗室，其通訊地址為：528200 廣東省佛山市南海區桂城街道環島南路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。