深圳市鵬芯微集成電路制造有限公司王耀獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市鵬芯微集成電路制造有限公司申請的專利清洗裝置及半導體設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223296776U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422703447.7，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型清洗裝置及半導體設備是由王耀;王震;彭超設計研發完成，并于2024-11-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本清洗裝置及半導體設備在說明書摘要公布了：本公開實施例提供一種清洗裝置及半導體設備；其中，清洗裝置包括：供液裝置，用于向基板提供處理液；處理箱，設有容置空間；所述處理箱的底部具有傾斜的導流面；載臺，容置于所述容置空間內并安裝于所述處理箱的底部，同時在所述底部上的投影部分覆蓋所述導流面；所述載臺設置于所述供液裝置下方并與所述供液裝置對應，所述載臺用于承載基板；排液裝置，與所述導流面連接，用于將所述處理液排出所述容置空間。
本實用新型清洗裝置及半導體設備在權利要求書中公布了：1.一種清洗裝置，其特征在于，包括： 供液裝置，用于向基板提供處理液； 處理箱，設有容置空間；所述處理箱的底部具有傾斜的導流面； 載臺，容置于所述容置空間內并安裝于所述處理箱的底部，同時在所述底部上的投影部分覆蓋所述導流面；所述載臺設置于所述供液裝置下方并與所述供液裝置對應，所述載臺用于承載基板； 排液裝置，與所述導流面連接，用于將所述處理液排出所述容置空間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市鵬芯微集成電路制造有限公司，其通訊地址為：518111 廣東省深圳市龍崗區平湖街道山廈社區中環大道中科谷產業園D棟101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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