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龍圖騰網(wǎng)獲悉電子科技大學(xué)申請的專利一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119739009B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411935554.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源是由趙懌哲;袁野;郭成;趙青;甘旭鵬設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源，包括微波及出光共形系統(tǒng)、微波饋入系統(tǒng)、工質(zhì)供給系統(tǒng)和腔體冷卻系統(tǒng)，其中微波及出光共形系統(tǒng)采用球形諧振腔作為微波能量耦合和等離子體產(chǎn)生的核心結(jié)構(gòu)，并通過在諧振腔內(nèi)表面引入微波亞波長尺寸的鏤空網(wǎng)格共形結(jié)構(gòu)，能夠在不影響腔體內(nèi)部微波場分布的情況下，使EUV光順利透過腔體表面，并引導(dǎo)至腔外，從而解決了傳統(tǒng)諧振腔中微波場封閉和EUV光引出之間的矛盾問題。此外本發(fā)明既能夠保證腔體內(nèi)微波能量的高效耦合，又能夠通過合理設(shè)計網(wǎng)格的尺寸和形狀，實現(xiàn)EUV光束的高效引出，同時避免了傳統(tǒng)設(shè)計中常見的微波泄露和能量損失，從而提升了整體光源的能量轉(zhuǎn)換效率。

本發(fā)明授權(quán)一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于諧振腔的微波等離子體EUV光源，其特征在于，包括微波及出光共形系統(tǒng)、微波饋入系統(tǒng)、工質(zhì)供給系統(tǒng)和腔體冷卻系統(tǒng)，所述微波及出光共形系統(tǒng)包括球形諧振腔和反射鏡，所述球形諧振腔設(shè)置于反射鏡凹面內(nèi)焦點處，所述微波饋入系統(tǒng)包括微波源和波導(dǎo)，所述微波源與電源電連接，用于產(chǎn)生微波能量，并通過波導(dǎo)將微波能量耦合到球形諧振腔腔體內(nèi)部，所述工質(zhì)供給系統(tǒng)和腔體冷卻系統(tǒng)均設(shè)置于球形諧振腔的內(nèi)壁； 所述球形諧振腔表面為微波亞波長尺寸的鏤空網(wǎng)格共形結(jié)構(gòu)，所述鏤空網(wǎng)格共形結(jié)構(gòu)包括金屬壁面以及間隔排布設(shè)置于金屬壁面上的真空鏤空。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人電子科技大學(xué)，其通訊地址為：611731 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))西源大道2006號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。