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龍圖騰網獲悉寧波伯銳鍶電子束科技有限公司申請的專利電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119901766B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411955728.X，技術領域涉及：G01N23/20；該發明授權電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質是由陸晨豪;沈思聰;普晨旭設計研發完成，并于2024-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本公開提供了一種電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質，其中，所述方法包括：將待測樣品放置于運動平臺上；獲取所述待測樣品在當前位置的第一電子束圖像；確定運動坐標系，所述運動坐標系的X軸和Y軸分別與電子束圖像的相鄰兩條矩形邊平行，原點與電子束圖像的中心重合；將所述待測樣品沿所述運動坐標系的X軸方向移動預設距離，以獲取所述待測樣品的第二電子束圖像；將所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像進行傅里葉變換，以確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的偏移量；根據所述偏移量，確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的角度偏差值；根據所述角度偏差值，對所述電子束圖像進行角度校正。

本發明授權電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種電子束圖像角度校正方法，其特征在于，所述方法包括： 將待測樣品放置于運動平臺上； 獲取所述待測樣品在當前位置的第一電子束圖像； 確定運動坐標系，所述運動坐標系的X軸和Y軸分別與電子束圖像的相鄰兩條矩形邊平行，原點與電子束圖像的中心重合； 將所述待測樣品沿所述運動坐標系的X軸方向移動預設距離，以獲取所述待測樣品的第二電子束圖像； 將所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像進行傅里葉變換，以確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的偏移量； 根據所述偏移量，確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的角度偏差值； 根據所述角度偏差值，對所述電子束圖像進行角度校正； 所述將所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像進行傅里葉變換，以確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的偏移量，包括： 將所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像通過下列公式（1）進行傅里葉變換，得到所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像的頻域圖， （1） 其中，表示第一電子束圖像的頻域圖，表示第二電子束圖像的頻域圖，和為頻域圖中的變量，表示第一電子束圖像與第二電子束圖像之間的偏移量； 根據所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像的頻域圖，通過下列公式（2）得到所述偏移量的脈沖函數， （2） 其中，表示互功率譜，A1和A2分別代表F1和F2的幅值，表示沖激函數，表示偏移量的脈沖函數； 當所述脈沖函數的數值最大時，確定所述偏移量； 所述根據所述偏移量，確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的角度偏差值，包括： 通過反正切函數將所述偏移量轉換為所述角度偏差值，其中，所述反正切函數如下列公式（3）所示： （3） 其中，為角度偏差值。

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