杭州開幕光子技術有限公司;浙江老鷹半導體技術有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杭州開幕光子技術有限公司;浙江老鷹半導體技術有限公司申請的專利垂直腔面發射激光器及制備方法、激光雷達系統及其光源獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120184735B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510662394.5,技術領域涉及:H01S5/183;該發明授權垂直腔面發射激光器及制備方法、激光雷達系統及其光源是由請求不公布姓名;張楊;陳順利;王立;陳浩設計研發完成,并于2025-05-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本垂直腔面發射激光器及制備方法、激光雷達系統及其光源在說明書摘要公布了:本發明涉及垂直腔面發射激光器技術領域,提供了一種垂直腔面發射激光器及制備方法、激光雷達系統及其光源。垂直腔面發射激光器中各所述發光單元通過一溝槽隔開;每一發光單元包括依次設于所述襯底上的外延層和歐姆接觸層;所述溝槽開設于所述外延層中;其中,至少部分所述發光單元的歐姆接觸層下方設有一形成于所述外延層側壁的離子注入部,至少一發光單元經由所述歐姆接觸層注入至所述外延層的電流不同于其余發光單元經由所述歐姆接觸層注入至所述外延層的電流;避免了外圍發光孔由于注入電流不均勻導致的外圍發光孔過早出現高階模的現象,改善遠場發散角的問題,保證了垂直腔面發射激光器的使用性能。
本發明授權垂直腔面發射激光器及制備方法、激光雷達系統及其光源在權利要求書中公布了:1.一種垂直腔面發射激光器,其特征在于,包括器件基體,所述器件基體包括襯底和設于所述襯底上的若干發光單元,各所述發光單元通過一溝槽隔開; 每一發光單元包括依次設于所述襯底上的外延層和歐姆接觸層;所述溝槽開設于所述外延層中; 其中,至少部分所述發光單元的歐姆接觸層下方設有一形成于所述外延層側壁的離子注入部,所述離子注入部被配置為調節經由所述歐姆接觸層注入至所述外延層的電流大小;形成有離子注入部后的各所述發光單元滿足以下條件: 至少一發光單元經由所述歐姆接觸層注入至所述外延層的電流不同于其余發光單元經由所述歐姆接觸層注入至所述外延層的電流; 所述器件基體具有至少兩個自設定位置向遠離所述設定位置排布的發光區域,每一所述發光區域內設有至少一發光單元; 所述設定位置為所述發光單元區的中心點,或者,所述器件基體設置有位于所述發光單元區一側的第一電源接入部,且所述設定位置為遠離所述第一電源接入部的位置; 通過所述離子注入部的配置,使靠近于設定位置的發光單元承載的電流相對更大。
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