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龍圖騰網(wǎng)獲悉微玖(蘇州)光電科技有限公司申請(qǐng)的專利一種具有直角或近直角側(cè)壁的Micro LED制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120435123B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510920444.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10H20/01；該發(fā)明授權(quán)一種具有直角或近直角側(cè)壁的Micro LED制備方法是由余鹿鳴;王月;黃振;張宇;王程功;鄭鵬遠(yuǎn)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種具有直角或近直角側(cè)壁的Micro LED制備方法在說(shuō)明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開了一種具有直角或近直角側(cè)壁的MicroLED制備方法，包括以下步驟：S1，在外延層表面沉積掩膜層；S2，使用掩膜版，得到圖形化光刻膠；S3，刻蝕掩膜層，去膠后得到圖形化掩膜層；S4，采用改進(jìn)的ICP工藝刻蝕外延層；S5，采用可動(dòng)態(tài)調(diào)整角度的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，沉積鈍化層；S6，使用掩膜版，得到圖形化光刻膠；S7，刻蝕鈍化層，去膠后得到圖形化鈍化層；S8，使用掩膜版，得到圖形化光刻膠；S9，鍍金屬層，經(jīng)去膠與金屬抬離后得到圖形化的正負(fù)電極結(jié)構(gòu)；本申請(qǐng)通過(guò)采用改進(jìn)的膜層沉積工藝與ICP刻蝕工藝，成功解決了MicroLED臺(tái)面?zhèn)缺跓o(wú)法采用大角度設(shè)計(jì)的問(wèn)題；能夠?qū)崿F(xiàn)更小的像素間距，并且工藝不受外延片厚度的影響，制備出性能更優(yōu)的MicroLED顯示產(chǎn)品。

本發(fā)明授權(quán)一種具有直角或近直角側(cè)壁的Micro LED制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有直角或近直角側(cè)壁的MicroLED制備方法，其特征在于，包括以下步驟： S1，在外延層表面沉積厚度為預(yù)設(shè)范圍的掩膜層； S2，在所述掩膜層上旋涂光刻膠，經(jīng)固化、紫外曝光和顯影處理，使用具有周期排列圖形的掩膜版，得到圖形化光刻膠； S3，以所述圖形化光刻膠為掩膜，采用等離子體刻蝕工藝刻蝕掩膜層，去膠后得到圖形化掩膜層； S4，以所述圖形化掩膜層為掩膜，采用改進(jìn)的ICP工藝刻蝕外延層，所述改進(jìn)的ICP工藝包括： S4.1，第一步刻蝕：使用刻蝕氣體對(duì)外延層進(jìn)行刻蝕； S4.2，鈍化層沉積：采用可動(dòng)態(tài)調(diào)整角度的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，通過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝沉積鈍化層； S4.3，第二步刻蝕：使用刻蝕氣體繼續(xù)刻蝕外延層，得到目標(biāo)角度的MicroLED臺(tái)面； S5，采用所述可動(dòng)態(tài)調(diào)整角度的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，通過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝沉積厚度為預(yù)設(shè)范圍的鈍化層； S6，在所述鈍化層上旋涂光刻膠，經(jīng)固化、紫外曝光和顯影處理，使用具有周期排列圖形的掩膜版，得到圖形化光刻膠； S7，以所述圖形化光刻膠為掩膜刻蝕鈍化層，去膠后得到圖形化鈍化層； S8，在所述圖形化鈍化層上旋涂光刻膠，經(jīng)固化、紫外曝光和顯影處理，使用具有周期排列圖形的掩膜版，得到圖形化光刻膠； S9，采用物理氣相沉積工藝鍍金屬層，經(jīng)去膠與金屬抬離后得到圖形化的正負(fù)電極結(jié)構(gòu)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人微玖(蘇州)光電科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)雙溇里路3號(hào)合木·傳奇大廈816室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。