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龍圖騰網獲悉上海信耀電子有限公司申請的專利一種光刻機導正結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110577074B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910866312.3，技術領域涉及：B65G47/24；該發明授權一種光刻機導正結構是由趙曉波;王永和;黃微益;錢坤設計研發完成，并于2019-09-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種光刻機導正結構在說明書摘要公布了：本發明公開一種光刻機導正結構，包括：轉換機構，所述轉換機構包括：托板和第一氣缸，所述托板具備X軸方向和Y軸方向，所述第一氣缸與所述托板傳動連接；第一輸送機構，所述第一輸送機構包括：一第一電機和若干滾輪軸，若干所述滾輪軸分別與所述第一電機傳動連接，所述托板供若干所述滾輪軸的上表面穿過；第二輸送機構，所述第二輸送機構包括：一第二氣缸、一第二電機和若干輸送組件，所述第二氣缸分別與若干所述輸送組件傳動連接，所述托板供若干所述輸送組件的上表面穿過，所述第二電機分別與若干所述輸送組件傳動連接。本發明能夠保證光刻的對準精度，提高產品的合格率。

本發明授權一種光刻機導正結構在權利要求書中公布了：1.一種光刻機導正結構，其特征在于，包括： 轉換機構，所述轉換機構包括：托板和第一氣缸，所述托板具備X軸方向和Y軸方向，所述第一氣缸與所述托板傳動連接，所述第一氣缸用于驅動所述托板上下移動； 第一輸送機構，所述第一輸送機構包括：一第一電機和若干滾輪軸，若干所述滾輪軸分別與所述第一電機傳動連接，所述托板供若干所述滾輪軸的上表面穿過，若干所述滾輪軸用于輸送產品沿X軸方向移動； 第二輸送機構，所述第二輸送機構包括：一第二氣缸、一第二電機和若干輸送組件，所述第二氣缸分別與若干所述輸送組件傳動連接，所述第二氣缸用于驅動若干所述輸送組件上下移動，所述托板供若干所述輸送組件的上表面穿過，所述第二電機分別與若干所述輸送組件傳動連接，所述第二電機用于驅動若干所述輸送組件運行，若干所述輸送組件用于輸送所述產品沿Y軸方向移動； 每一所述輸送組件均包括：一主動輪、若干從動輪組和一輸送帶，所述第二電機與所述主動輪傳動連接，若干所述從動輪組、所述主動輪均與所述輸送帶傳動連接，若干所述輸送帶的上表面均處于同一第二平面上，所述托板分別供若干所述輸送帶的上表面穿過，若干所述輸送帶用于輸送所述產品沿Y軸方向移動； 每一所述從動輪組均包括：三從動輪，一所述從動輪的上表面高于另外兩所述從動輪的上表面，三所述從動輪均與所述輸送帶傳動連接； 每一所述輸送組件還包括： 一輸送帶安裝板，所述第二氣缸與所述輸送帶安裝板傳動連接，所述第二氣缸用于驅動所述輸送組件上下移動； 若干安裝架，若干所述安裝架均設于所述輸送帶安裝板上，若干所述從動輪、所述主動輪分別與若干所述安裝架轉動連接。

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