買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉圓益IPS股份有限公司申請的專利傳送機器人及包括此的基板處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113451186B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110313935.5，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權傳送機器人及包括此的基板處理系統是由全京僖;高東宣;羅訓希設計研發完成，并于2021-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本傳送機器人及包括此的基板處理系統在說明書摘要公布了：本發明涉及用于通過傳送模塊運送基板的傳送機器人及包括此的基板處理系統。本發明公開了一種基板處理系統，包括：傳送模塊，具有用于運送基板的傳送機器人；一個以上的雙工藝模塊，設置在傳送模塊的一側，同時出入兩張基板，并且以水平方向配置用于放置兩張基板的一對基板支撐部；一個以上的單工藝模塊，設置在傳送模塊的一側，出入一張基板，并且具有用于放置基板的一個以上的基板支撐部；其中，傳送機器人包括第一基板放置部及第二基板放置部，分別具有放置基板的放置面并且位于相同的第一平面上，其中的至少一個以垂直方向旋轉軸為中心進行旋轉，以位于在運送基板時不干涉運送基板的區域。

本發明授權傳送機器人及包括此的基板處理系統在權利要求書中公布了：1.一種基板處理系統，其特征在于，包括： 傳送模塊300，具有用于運送基板的傳送機器人500； 一個以上的雙工藝模塊100，設置在所述傳送模塊300的一側，同時出入兩張基板10，并且以水平方向配置用于放置兩張基板10的一對基板支撐部13； 一個以上的單工藝模塊200，設置在所述傳送模塊300的一側，出入一張基板10，并且具有用于放置基板10的一個以上的基板支撐部13； 其中，所述傳送機器人500包括： 第一基板放置部510a及第二基板放置部510b，所述第一基板放置部510a及第二基板放置部510b分別具有放置基板10的放置面11，并且位于相同的第一平面上；及 第一結合部502，其作為結合所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b并且形成垂直方向旋轉軸C1的結合樞紐； 所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b中的至少一個設置成以同一個垂直方向旋轉軸C1為中心進行旋轉，以位于在運送基板時不干涉運送基板的區域 所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b，針對所述同一個垂直方向旋轉軸C1相互獨立地旋轉驅動，以便執行向所述雙工藝模塊100同時運送兩張基板和向所述單工藝模塊200運送一張基板。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人圓益IPS股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市振威面振威產團路75；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。