應用材料公司S·德漢達帕尼獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利根據基于機器學習的基板圖像處理進行膜厚度估計獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115104001B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180014115.4，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權根據基于機器學習的基板圖像處理進行膜厚度估計是由S·德漢達帕尼;A·阿拉赫霍利普羅姆拉尼;D·J·本韋格努;錢雋;K·L·什里斯塔設計研發完成，并于2021-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本根據基于機器學習的基板圖像處理進行膜厚度估計在說明書摘要公布了：通過在多個位置獲得校準基板的頂層的地表實況厚度測量結果來訓練神經網絡以用于基板厚度測量系統，每一位置為在基板上制造的管芯的定義位置。獲取校準基板的多個彩色圖像，每一彩色圖像對應于在基板上制造的管芯的區域。訓練神經網絡以將來自直列式基板成像器的管芯區域的彩色圖像轉化為管芯區域中頂層的厚度測量結果。使用訓練數據執行訓練，訓練數據包括多個彩色圖像及地表實況厚度測量結果，每一相應的彩色圖像與和該相應彩色圖像相關聯的管芯區域的地表實況厚度測量結果配對。
本發明授權根據基于機器學習的基板圖像處理進行膜厚度估計在權利要求書中公布了：1.一種非瞬態計算機可讀介質，其編碼有計算機程序產品，所述計算機程序產品包括指令以使一個或多個處理器執行以下步驟： 在多個位置獲得校準基板的頂層的地表實況厚度測量結果，每一位置為在所述校準基板上制造的管芯的定義位置； 獲取所述校準基板的多個彩色圖像，每一彩色圖像對應于在所述校準基板上制造的管芯的區域；及 訓練神經網絡，將來自直列式基板成像器的管芯區域的彩色圖像轉換為所述管芯區域中的所述頂層的厚度測量結果，其中訓練所述神經網絡的所述指令包括使用訓練數據的指令，所述訓練數據包括所述多個彩色圖像及地表實況厚度測量結果，每一相應彩色圖像與和所述相應彩色圖像相關聯的所述管芯區域的地表實況厚度測量結果配對。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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