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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)申請(qǐng)的專利旋轉(zhuǎn)保持裝置及具備該旋轉(zhuǎn)保持裝置的襯底處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114141681B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111032159.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)旋轉(zhuǎn)保持裝置及具備該旋轉(zhuǎn)保持裝置的襯底處理裝置是由徐飛;熊田雄介;甲盛諄設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本旋轉(zhuǎn)保持裝置及具備該旋轉(zhuǎn)保持裝置的襯底處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)保持裝置及具備該旋轉(zhuǎn)保持裝置的襯底處理裝置。旋轉(zhuǎn)保持裝置具備：吸附保持部，具有吸附保持襯底的下表面中央部的上表面；及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，使吸附保持部繞鉛垂軸旋轉(zhuǎn)。上表面具有周緣部區(qū)域、及被周緣部區(qū)域包圍的中央部區(qū)域。在周緣部區(qū)域設(shè)置有多個(gè)第1抽吸孔，且在中央部區(qū)域設(shè)置有多個(gè)第2抽吸孔。周緣部區(qū)域中的多個(gè)第1抽吸孔的面密度比中央部區(qū)域中的多個(gè)第2抽吸孔的面密度大。多個(gè)第1抽吸孔的面密度及多個(gè)第2抽吸孔的面密度也可以不滿足所述關(guān)系。在該情況下，在旋轉(zhuǎn)保持裝置中設(shè)置對(duì)未由吸附保持部吸附保持的襯底的下表面周緣部的至少一部分的溫度進(jìn)行調(diào)整的溫度調(diào)整部。

本發(fā)明授權(quán)旋轉(zhuǎn)保持裝置及具備該旋轉(zhuǎn)保持裝置的襯底處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種旋轉(zhuǎn)保持裝置，一邊吸附保持襯底的下表面中央部一邊使它旋轉(zhuǎn)，且具備： 吸附保持部，具有吸附保持所述襯底的所述下表面中央部的上表面；及 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，使所述吸附保持部繞沿上下方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)； 所述上表面具有： 周緣部區(qū)域，沿著外緣；及 中央部區(qū)域，被所述周緣部區(qū)域包圍； 在所述周緣部區(qū)域設(shè)置有多個(gè)第1抽吸孔， 在所述中央部區(qū)域設(shè)置有多個(gè)第2抽吸孔，且 所述周緣部區(qū)域中的所述多個(gè)第1抽吸孔的面密度大于所述中央部區(qū)域中的所述多個(gè)第2抽吸孔的面密度； 所述吸附保持部包含： 多個(gè)直線狀路徑，形成為在俯視下與所述中央部區(qū)域重疊且從所述旋轉(zhuǎn)軸朝向所述吸附保持部的外緣呈直線狀延伸，將所述多個(gè)第2抽吸孔處所抽吸的所述上表面上的氣體引導(dǎo)至所述吸附保持部的外部；及 環(huán)狀路徑，形成為在俯視下與所述周緣部區(qū)域重疊且包圍所述多個(gè)直線狀路徑，將所述多個(gè)第1抽吸孔處所抽吸的所述上表面上的氣體引導(dǎo)至所述吸附保持部的外部； 所述多個(gè)直線狀路徑的內(nèi)部空間與所述環(huán)狀路徑相互連通。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。