買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉廈門特儀科技有限公司申請的專利一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN116012292B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202211465459.X，技術領域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法是由王世銳;陳志極;黃杰鴻;陳平平設計研發(fā)完成，并于2022-11-22向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法，包括以下步驟：S1.圖像采集，將晶圓圖像轉換為灰度圖像；S2.預處理，對圖像進行均值濾波，然后進行下采樣，分別進行頂帽運算和黑帽運算；S3.缺陷提取及判定：對圖像采用閾值進行閾值化，得到二值圖；對二值圖進行連通區(qū)域計算得到若干連通區(qū)域，計算連通區(qū)域與周圍背景的平均灰度差；將連通區(qū)域擬合得到直線，計算連通區(qū)域的邊緣點到直線距離的標準差；將得到的連通區(qū)域之間進行斜率的判定，當兩條連通區(qū)域的斜率一致，并且比較靠近，則將其合并為一條連通區(qū)域；計算連通區(qū)域的長度，若大于閾值，則判定該連通區(qū)域為刮傷。本發(fā)明可提高檢測效率，且通過綜合判定，準確性高。

本發(fā)明授權一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種基于機器視覺的晶圓外觀缺陷檢測方法，其特征在于，包括以下步驟： S1.圖像采集 采集晶圓圖像，將晶圓圖像轉換為灰度圖像，將灰度圖像邊緣的黑色外部區(qū)域去除后得到待檢測區(qū)域的圖像P； S2.預處理 對圖像P進行均值濾波，然后進行下采樣，得到圖像T，對圖像S分別進行頂帽運算和黑帽運算得到圖像T1和T2； S3.缺陷提取及判定 將圖像T1和圖像T2分別進行缺陷提取及判定，所述缺陷至少包括刮傷不良缺陷； a11.對圖像采用閾值μ1進行閾值化，得到二值圖B1；其中，所述閾值μ1是頂帽運算或黑帽運算后二值化的閾值； a12.對二值圖B1進行連通區(qū)域計算得到若干連通區(qū)域A51，計算連通區(qū)域A51與周圍背景的平均灰度差；若平均灰度差大于設定值，則繼續(xù)進行步驟S33的篩選，若平均灰度差小于設定值，則判定不存在缺陷，結束流程； a13.將連通區(qū)域A51擬合得到直線，計算連通區(qū)域A51的邊緣點到直線距離的標準差，若標準差小于設定閾值L1，則標記其為連通區(qū)域A52； a14.將得到的連通區(qū)域A52之間進行斜率的判定，當兩條連通區(qū)域A52的斜率一致，并且比較靠近，則將其合并為一條連通區(qū)域A53； a15.計算連通區(qū)域A53的長度，若大于閾值L2，則判定該連通區(qū)域A53為刮傷，計算刮傷的數(shù)量； 所述缺陷還包括小坑不良缺陷；其提取及判定步驟如下： a31.對圖像采用閾值μ2進行閾值化，得到二值圖B2；其中，所述閾值μ2是頂帽運算或黑帽運算后二值化的閾值； a32.對二值圖B2進行連通區(qū)域計算得到若干連通區(qū)域A61； a33.計算連通區(qū)域A61的中間與外圈的平均灰度，以及中間黑色連通區(qū)域的圓度，若中間黑色連通區(qū)域的圓度＞0.7，且中間的平均灰度＜30，外圈的平均灰度＞220，則標記其為連通區(qū)域A62； 步驟a33中，連通區(qū)域A61的中間的平均灰度外圈的平均灰度，以及中間黑色連通區(qū)域的圓度YD的計算公式如下： 其中fx,y為圖中坐標x,y的灰度值，A表示區(qū)域面積，P表示區(qū)域周長，滿足以上公式的連通區(qū)域標記為連通區(qū)域A62； a34.計算連通區(qū)域A62的面積，若大于預先設定閾值S1，則判定該連通區(qū)域為小坑，該晶圓存在小坑不良缺陷； S4.將圖像T1和圖像T2判定得到的缺陷進行合并，即得到最終的晶圓外觀缺陷。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人廈門特儀科技有限公司，其通訊地址為：361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)信息光電園金豐大廈809A室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。