中電環(huán)宇(北京)建設(shè)工程有限公司王新河獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中電環(huán)宇(北京)建設(shè)工程有限公司申請(qǐng)的專利一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN116379543B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202310369655.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:F24F8/108;該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室是由王新河;王寧;吳凱龍;劉增樹;許穎超;張海強(qiáng);李旭光設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2023-04-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室在說(shuō)明書摘要公布了:本申請(qǐng)公開了一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,屬于潔凈室的技術(shù)領(lǐng)域,其包括潔凈工作室,所述潔凈工作室包括用于高精度加工的潔凈工作區(qū)以及用于半導(dǎo)體前制程加工的加工服務(wù)區(qū),所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務(wù)區(qū)之間設(shè)置有分隔區(qū),所述分隔區(qū)內(nèi)間隔設(shè)置有擋簾,所述擋簾沿所述分隔區(qū)的長(zhǎng)度方向布置,相鄰所述擋簾相互遠(yuǎn)離的兩側(cè)均設(shè)置有用于過(guò)濾空氣的過(guò)濾組件,所述過(guò)濾組件包括沿所述分隔區(qū)間隔布置的第一過(guò)濾網(wǎng)以及第二過(guò)濾網(wǎng),所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務(wù)區(qū)內(nèi)均設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第一通風(fēng)系統(tǒng),所述分隔區(qū)設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第二通風(fēng)系統(tǒng)。本申請(qǐng)具有提高潔凈室內(nèi)的空氣潔凈度的效果。
本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室,包括潔凈工作室1,所述潔凈工作室1包括用于高精度加工的潔凈工作區(qū)11以及用于半導(dǎo)體前制程加工的加工服務(wù)區(qū)12,所述潔凈工作區(qū)11與所述加工服務(wù)區(qū)12之間設(shè)置有分隔區(qū)13,其特征在于:所述分隔區(qū)13內(nèi)間隔設(shè)置有擋簾2,所述擋簾2沿所述分隔區(qū)13的長(zhǎng)度方向布置,相鄰所述擋簾2相互遠(yuǎn)離的兩側(cè)均設(shè)置有用于過(guò)濾空氣的過(guò)濾組件3,所述過(guò)濾組件3包括沿所述分隔區(qū)13間隔布置的第一過(guò)濾網(wǎng)33以及第二過(guò)濾網(wǎng)34,所述潔凈工作區(qū)11與所述加工服務(wù)區(qū)12內(nèi)均設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第一通風(fēng)系統(tǒng)4,所述分隔區(qū)13設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第二通風(fēng)系統(tǒng)6; 所述過(guò)濾組件3還包括間隔安裝于所述分隔區(qū)13內(nèi)的第一導(dǎo)向架31以及第二導(dǎo)向架32,所述第一導(dǎo)向架31沿自身長(zhǎng)度方向滑動(dòng)設(shè)置有多個(gè)用于安裝所述第一過(guò)濾網(wǎng)33的第一定位框35,所述第二導(dǎo)向架32沿自身長(zhǎng)度方向滑動(dòng)設(shè)置有多個(gè)用于安裝所述第二過(guò)濾網(wǎng)34的第二定位框36,且所述第一過(guò)濾網(wǎng)33與所述第二過(guò)濾網(wǎng)34相鄰的側(cè)邊重疊; 所述潔凈工作室1的內(nèi)頂面上安裝有吊頂板14,所述潔凈工作室1的內(nèi)底面上設(shè)置有基座15,所述吊頂板14上開設(shè)有第一安裝槽16,所述基座15上開設(shè)有用于與所述第一安裝槽16相對(duì)應(yīng)的第二安裝槽17,所述第一導(dǎo)向架31包括安裝于所述第一安裝槽16內(nèi)端面上的第一導(dǎo)向桿311以及安裝于所述第二安裝槽17內(nèi)端面上的第二導(dǎo)向桿312,所述第二導(dǎo)向架32包括安裝于所述第一安裝槽16內(nèi)端面上的第三導(dǎo)向桿321以及安裝于所述第二安裝槽17內(nèi)端面上的第四導(dǎo)向桿322,所述第一導(dǎo)向桿311與所述第三導(dǎo)向桿321并排布置,所述第二導(dǎo)向桿312與所述第四導(dǎo)向桿322并排布置; 所述潔凈工作區(qū)11以及所述加工服務(wù)區(qū)12內(nèi)均設(shè)置有多個(gè)用于分隔空間的分隔組件5,所述分隔組件5包括安裝于所述基座15上的橫向板51以及固定連接于所述橫向板51上的縱向板52,所述橫向板51與所述縱向板52的長(zhǎng)度方向相互垂直; 所述第一通風(fēng)系統(tǒng)4包括設(shè)置于所述吊頂板14內(nèi)的排風(fēng)箱41以及用于與高壓氣源相連通的通風(fēng)管42,所述通風(fēng)管42與所述排風(fēng)箱41相連通,所述排風(fēng)箱41內(nèi)間隔安裝有第一出風(fēng)管43、第二出風(fēng)管44,所述第一出風(fēng)管43、第二出風(fēng)管44上均安裝有用于過(guò)濾空氣的化學(xué)過(guò)濾器45,所述第一出風(fēng)管43的內(nèi)底面開設(shè)有用于朝向靠近所述分隔區(qū)13方向吹風(fēng)的第一排風(fēng)孔46,所述第二出風(fēng)管44的內(nèi)底面開設(shè)有用于朝向背離所述分隔區(qū)13方向吹風(fēng)的第二排風(fēng)孔47; 所述基座15位于所述潔凈工作區(qū)11以及所述加工服務(wù)區(qū)12的部分上開設(shè)有換氣空腔19,所述換氣空腔19的內(nèi)頂面上開設(shè)有換氣孔191,且所述縱向板52內(nèi)開設(shè)有用于與所述排風(fēng)箱41相連通的貫穿通道53,且所述貫穿通道53與所述換氣空腔19相連通; 所述通風(fēng)管42上設(shè)置有多個(gè)用于連通所述排風(fēng)箱41的連通管48,所述縱向板52位于所述排風(fēng)箱41內(nèi)的端部上固定連接有擋風(fēng)板54,所述擋風(fēng)板54與所述連通管48一一對(duì)應(yīng),所述縱向板52位于排風(fēng)箱41內(nèi)的端部?jī)蓚?cè)連通有出氣管55,所述出氣管55傾斜布置。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中電環(huán)宇(北京)建設(shè)工程有限公司,其通訊地址為:100089 北京市海淀區(qū)羊坊店路18號(hào)1幢11層1115;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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