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龍圖騰網(wǎng)獲悉武漢宇微光學(xué)軟件有限公司申請(qǐng)的專利可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法及光源掩模協(xié)同優(yōu)化方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118311835B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202410459717.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法及光源掩模協(xié)同優(yōu)化方法是由尉海清;劉世元設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-04-17向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法及光源掩模協(xié)同優(yōu)化方法在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)屬于計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法及光源掩模協(xié)同優(yōu)化方法，該模擬方法包括：基于設(shè)計(jì)光源形狀OSM樣本和實(shí)際處理結(jié)果，對(duì)第一仿真模型中SMTM的參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定；實(shí)際處理結(jié)果是通過將OSM樣本輸入至光刻物理機(jī)并對(duì)光刻物理機(jī)的處理過程進(jìn)行監(jiān)測(cè)所獲取的，第一仿真模型用于輸出與實(shí)際處理結(jié)果相對(duì)應(yīng)的仿真處理結(jié)果，第一仿真模型至少包括SMTM；將標(biāo)定后的SMTM作為PIS模型。本申請(qǐng)通過利用參照數(shù)據(jù)對(duì)第一仿真模型中的SMTM的參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定，以獲取PIS模型，在獲取PIS特性的情況下，能夠有效地避免PIS硬件失真對(duì)光刻物理機(jī)上曝光效果的影響，保障IC制造的良率。

本發(fā)明授權(quán)可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法及光源掩模協(xié)同優(yōu)化方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種可編程照明光源系統(tǒng)的模擬方法，其特征在于，包括： 基于設(shè)計(jì)光源形狀OSM樣本和實(shí)際處理結(jié)果，對(duì)第一仿真模型中光源形狀傳遞模型SMTM的參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定；所述實(shí)際處理結(jié)果是通過將OSM樣本輸入至光刻物理機(jī)并對(duì)所述光刻物理機(jī)的處理過程進(jìn)行監(jiān)測(cè)所獲取的，所述光刻物理機(jī)內(nèi)配置有可編程照明光源系統(tǒng)PIS實(shí)體，所述第一仿真模型用于輸出與所述實(shí)際處理結(jié)果相對(duì)應(yīng)的仿真處理結(jié)果，所述第一仿真模型至少包括所述SMTM； 將標(biāo)定后的SMTM作為PIS模型；所述PIS模型用于模擬PIS實(shí)體。

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