寶虹科技股份有限公司呂理宏獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉寶虹科技股份有限公司申請的專利模塊化的原子層沉積制程設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223280933U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421912821.8，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型模塊化的原子層沉積制程設備是由呂理宏;蔡龍泉;游克強;余興政設計研發完成，并于2024-08-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本模塊化的原子層沉積制程設備在說明書摘要公布了：一種模塊化的原子層沉積制程設備，包括一制程載架、一傳送載架、一制程腔體、一或多個原子層沉積模塊及一搬移載具。該制程載架包括多個沿著一高度方向排列設置的第一架體及多個分別由該第一架體限定出的第一放置空間。該傳送載架包括多個第二架體及多個分別由該第二架體限定出的第二放置空間。該制程腔體用以放置一基板且可移動地放置于該制程載架上任一個該第一放置空間或該傳送載架上任一個該第二放置空間。該原子層沉積模塊供該制程腔體對該基板進行一原子層沉積制程。該搬移載具在該第一放置空間與該第二放置空間之間移轉該制程腔體。
本實用新型模塊化的原子層沉積制程設備在權利要求書中公布了：1.一種模塊化的原子層沉積制程設備，其特征在于，包括： 一制程載架，包括多個在一平面上排列布置的架體單元，各個架體單元分別包括多個沿著一高度方向排列設置的第一架體及多個分別由該第一架體限定出的第一放置空間； 一傳送載架，包括多個第二架體以及多個分別由該第二架體限定出的第二放置空間； 一制程腔體，用以放置一待進行原子層沉積的基板，該制程腔體可移動地放置于該制程載架上任一個該第一放置空間或該傳送載架上任一個該第二放置空間； 一或多個原子層沉積模塊，可拆卸地耦接至位于該第一放置空間之中的該制程腔體，供該制程腔體對該基板進行一原子層沉積制程；以及 一搬移載具，在該第一放置空間與該第二放置空間之間移轉該制程腔體； 其中，該制程腔體在該制程載架的該第一放置空間完成該原子層沉積制程后被該搬移載具移轉至該傳送載架的該第二放置空間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人寶虹科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市東區高翠路327巷4弄32號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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