TCL環鑫半導體(天津)有限公司常旭獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉TCL環鑫半導體(天津)有限公司申請的專利一種片籃晃動支架及濕制程設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223284967U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422557365.6,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型一種片籃晃動支架及濕制程設備是由常旭;魏文博;范玉豐;黃志煥;徐長坡;張超;梁續通設計研發完成,并于2024-10-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種片籃晃動支架及濕制程設備在說明書摘要公布了:本實用新型提供了一種片籃晃動支架及濕制程設備,涉及半導體清洗技術領域,片籃晃動支架包括:主架體;承托結構,設置于主架體上,承托結構的頂面設置至少四個片籃容置位;主架體與承托結構均設置為至少包括內層和包覆于內層外側的外層,內層包括金屬材質,外層包括聚四氟乙烯。此片籃晃動支架能夠兼容至少兩種不同尺寸的片籃,以提高片籃晃動支架的利用率,且能夠有效地解決老化開焊等問題,且能夠徹底解決片籃晃動支架老化變形等問題,有效隔絕金屬離子提高產品的可靠性。濕制程設備包括濕制程設備主體和上述的片籃晃動支架,片籃晃動支架安裝于設備主體,能夠兼容至少兩種不同尺寸的片籃,清洗效率高。
本實用新型一種片籃晃動支架及濕制程設備在權利要求書中公布了:1.一種片籃晃動支架,其特征在于,包括: 主架體; 承托結構,設置于所述主架體上,所述承托結構的頂面設置至少四個片籃容置位; 所述主架體與所述承托結構均設置為至少包括內層和包覆于所述內層外側的外層,所述內層包括金屬材質,所述外層包括聚四氟乙烯。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人TCL環鑫半導體(天津)有限公司,其通訊地址為:300384 天津市濱海新區華苑產業區(環外)海泰東路12號A座二層;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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