上海新微技術研發中心有限公司賈巖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海新微技術研發中心有限公司申請的專利一種晶圓限位裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223284962U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422719449.5,技術領域涉及:H01L21/68;該實用新型一種晶圓限位裝置是由賈巖;尹勇設計研發完成,并于2024-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓限位裝置在說明書摘要公布了:本實用新型提供一種晶圓限位裝置,包括多個晶圓限位柱模塊、多個定位模塊、多個基座以及平臺,基座固定安裝于平臺上,晶圓限位柱模塊通過定位模塊安裝于基座上;晶圓限位柱模塊包括晶圓限位柱和限位底座,晶圓限位柱固定于限位底座上方;限位底座左側下方設置有定位組件,所述定位模塊上設有連接孔,定位組件插入連接孔對晶圓限位柱模塊定位安裝。晶圓限位柱模塊通過定位組件進行定位安裝,更換時僅需松開螺絲拔出限位柱,再插入新的限位柱擰緊螺絲,不需重新進行定位,能夠有效節省更換的時間與人力成本,提高工作效率。
本實用新型一種晶圓限位裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶圓限位裝置,其特征在于,包括多個晶圓限位柱模塊1、多個定位模塊2、多個基座3以及平臺5,所述基座3固定安裝于所述平臺5上;所述晶圓限位柱模塊1通過所述定位模塊2安裝于所述基座3上;所述晶圓限位柱模塊1包括晶圓限位柱11和限位底座12,所述晶圓限位柱11固定于所述限位底座12上方;所述限位底座12左側下方設置有定位組件121,所述定位模塊2上設有連接孔23,所述定位組件121插入所述連接孔23對所述晶圓限位柱模塊1定位安裝。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人上海新微技術研發中心有限公司,其通訊地址為:201800 上海市嘉定區菊園新區勝竹路1399號2幢9層930室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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