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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州光研科技有限公司申請的專利一種晶圓輪廓測量儀獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223283614U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422837715.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該實用新型一種晶圓輪廓測量儀是由陳海龍;郭曉忠;翁杰;葉連慧設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓輪廓測量儀在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓輪廓測量儀，涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域。該晶圓輪廓測量儀包括機體，機體內(nèi)設(shè)置有工作臺；該晶圓輪廓測量儀還包括設(shè)置于機體上用于裝卸晶圓的裝卸模塊，以及設(shè)置于工作臺上的承載模塊、尋邊模塊、調(diào)整模塊、原點檢測模塊及測量模塊；搬運模塊用于在裝卸模塊與承載模塊之間轉(zhuǎn)運晶圓；承載模塊用于帶動晶圓運動；尋邊模塊用于獲取晶圓的邊緣圖像信息；調(diào)整模塊用于調(diào)整晶圓的位置，以使晶圓的中心與承載模塊的旋轉(zhuǎn)中心對齊；承載模塊還用于帶動晶圓運動至晶圓的原點與原點檢測模塊的檢測點對齊；測量模塊用于對晶圓進行輪廓測量。本實用新型提供的晶圓輪廓測量儀的測量效率更高、測量精度更好。

本實用新型一種晶圓輪廓測量儀在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓輪廓測量儀，其特征在于，包括機體110、裝卸模塊120、搬運模塊130、承載模塊140、尋邊模塊150、調(diào)整模塊160、原點檢測模塊170及測量模塊180，所述裝卸模塊120設(shè)置于所述機體110上，用于裝卸晶圓200；所述機體110內(nèi)設(shè)置有工作臺111，所述承載模塊140、所述尋邊模塊150、所述調(diào)整模塊160、所述原點檢測模塊170及所述測量模塊180均設(shè)置于所述工作臺111上； 所述搬運模塊130用于將所述裝卸模塊120處的待測量晶圓200轉(zhuǎn)運至所述承載模塊140；所述承載模塊140用于帶動所述晶圓200運動；所述尋邊模塊150用于在所述承載模塊140帶動所述晶圓200旋轉(zhuǎn)的過程中獲取所述晶圓200的邊緣圖像信息；所述調(diào)整模塊160用于根據(jù)所述邊緣圖像信息調(diào)整所述晶圓200在所述承載模塊140上的位置，以使所述晶圓200的中心與所述承載模塊140的旋轉(zhuǎn)中心對齊；所述承載模塊140還用于在所述調(diào)整模塊160完成對所述晶圓200的調(diào)整后，帶動所述晶圓200運動至所述晶圓200的原點與所述原點檢測模塊170的檢測點對齊；所述測量模塊180用于在所述晶圓200的原點與所述原點檢測模塊170的檢測點對齊的情況下，對所述晶圓200進行輪廓測量；所述搬運模塊130還用于將完成輪廓測量的所述晶圓200由所述承載模塊140轉(zhuǎn)運至所述裝卸模塊120。

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