蘇州芯輪半導體科技有限公司張磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州芯輪半導體科技有限公司申請的專利一種晶圓研磨液控制裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223277777U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422833292.9，技術領域涉及：B24B57/02；該實用新型一種晶圓研磨液控制裝置是由張磊;溫鵬飛;王京平設計研發完成，并于2024-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓研磨液控制裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及一種晶圓研磨液控制裝置，本實用新型涉及研磨液控制技術領域，該晶圓研磨液控制裝置包括主體，所述主體內部設置有存儲箱，所述存儲箱一側設置有第一電磁閥，所述第一電磁閥一側設置有第二增壓泵，所述第二增壓泵一側設置有流量檢測裝置，所述流量檢測裝置通過管道連接有噴頭，所述主體內部側壁設置有數個支撐桿，所述支撐桿上部設置有過濾網，所述過濾網下部設置有收集箱，所述收集箱底部通過設置底座對收集箱進行支撐，所述收集箱底部設置有凹槽。通過設置存儲箱，用于對研磨液進行存儲，通過設置流量檢測裝置，用于檢測研磨液噴出流量，通過設置增壓泵，用于控制研磨液噴出量。
本實用新型一種晶圓研磨液控制裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓研磨液控制裝置，其特征在于：包括主體1，所述主體1內部設置有存儲箱3，所述存儲箱3一側設置有第一電磁閥19，所述第一電磁閥19一側設置有第二增壓泵25，所述第二增壓泵25一側設置有流量檢測裝置24，所述流量檢測裝置24通過管道連接有噴頭7，所述主體1內部側壁設置有數個支撐桿21，所述支撐桿21上部設置有過濾網10，所述過濾網10下部設置有收集箱22，所述收集箱22底部通過設置底座23對收集箱22進行支撐，所述收集箱22底部設置有凹槽29，所述凹槽29一側設置有第二電磁閥28，所述第二電磁閥28一側設置有第一增壓泵20，所述第一增壓泵20一側通過管道連接在冷卻箱15側面下部，所述冷卻箱15另一側上部設置有第三增壓泵27，所述第三增壓泵27通過管道連接有存儲箱3。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州芯輪半導體科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區吳中大道1183號30幢1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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