至微半導體(上海)有限公司;合肥至微半導體有限公司蘭天獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉至微半導體(上海)有限公司;合肥至微半導體有限公司申請的專利一種晶圓夾持翻轉機構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223280057U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422841312.7，技術領域涉及：B65G47/248；該實用新型一種晶圓夾持翻轉機構是由蘭天;陳新來;唐寶國設計研發完成，并于2024-11-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓夾持翻轉機構在說明書摘要公布了：本實用新型涉及一種晶圓夾持翻轉機構，包括：翻轉架和用于驅動所述翻轉架180度上下翻轉的驅動單元、設置在所述翻轉架上的兩個晶圓托舉單元、設置在所述翻轉架上的晶圓夾持單元、用于在翻轉前使第一托舉面與夾持口對齊或者在翻轉后使第二托舉面與夾持口對齊的升降驅動模組，其能夠對晶圓分別進行翻轉，從而滿足晶圓背洗工藝的需求。
本實用新型一種晶圓夾持翻轉機構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓夾持翻轉機構，其特征在于，包括： 翻轉架和用于驅動所述翻轉架180度上下翻轉的驅動單元； 設置在所述翻轉架上的兩個晶圓托舉單元，所述兩個晶圓托舉單元左右對稱布置，所述晶圓托舉單元包括前后水平間隔布置的兩個托舉塊，所述托舉塊的內側具有托舉面組，所述托舉面組由用于在翻轉前水平承托晶圓邊緣的第一托舉面和用于在翻轉后水平承托晶圓邊緣的第二托舉面，所述第一托舉面和第二托舉面上下相對布置，且所述第二托舉面位于所述第一托舉面的上方，兩者均具有用于對晶圓邊緣進行徑向限位的限位部； 設置在所述翻轉架上的晶圓夾持單元，所述晶圓夾持單元包括左右對稱布置的兩個晶圓夾持塊和用于驅動兩個晶圓夾持塊接近或者遠離的水平驅動模組，所述晶圓夾持塊的內側面上具有夾持口，所述晶圓夾持塊位于同側的兩個托舉塊之間； 用于在翻轉前使第一托舉面與夾持口對齊或者在翻轉后使第二托舉面與夾持口對齊的升降驅動模組，所述升降驅動模組設于所述翻轉架上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人至微半導體(上海)有限公司;合肥至微半導體有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號1幢3層03室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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