中國工程物理研究院電子工程研究所孫臣臣獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國工程物理研究院電子工程研究所申請的專利一種微裂紋檢測方法、裝置及制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120121724B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510609168.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01N29/24;該發(fā)明授權(quán)一種微裂紋檢測方法、裝置及制備方法是由孫臣臣;余永紅;邢占強;計煒梁;孫翔宇設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-05-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種微裂紋檢測方法、裝置及制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及微裂紋檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種微裂紋檢測方法、裝置及制備方法,包括:構(gòu)建微裂紋檢測系統(tǒng),并基于被測固體材料聲速與缺陷預(yù)估位置,計算橫縱波傳播時間差,并通過FPGA控制器對激勵信號施加延遲;同步觸發(fā)微裂紋檢測系統(tǒng)的橫縱波發(fā)射,使經(jīng)過延遲調(diào)控的不同頻率橫縱波同時進入被測固體材料,當橫縱波同時作用于被測固體材料的微裂紋缺陷時,基于被測固體材料的非線性特性產(chǎn)生混頻效應(yīng),生成差頻分量;捕獲并分析差頻回波信號完成被測固體材料的微裂紋檢測。應(yīng)用本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)高精度時延控制與高信噪比混頻回波捕獲,并有效提升檢出率。
本發(fā)明授權(quán)一種微裂紋檢測方法、裝置及制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種微裂紋檢測方法,其特征在于,該方法的步驟包括: 構(gòu)建微裂紋檢測系統(tǒng),所述微裂紋檢測系統(tǒng)包括LN橫縱波雙模微探頭、激勵信號發(fā)生器、上位機控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集卡,并對微裂紋檢測系統(tǒng)的激勵信號進行參數(shù)設(shè)定,基于被測固體材料聲速與缺陷預(yù)估位置,計算橫縱波傳播時間差,并通過FPGA控制器對激勵信號施加延遲; 同步觸發(fā)微裂紋檢測系統(tǒng)的橫縱波發(fā)射,使經(jīng)過延遲調(diào)控的不同頻率橫縱波同時進入被測固體材料,當橫縱波同時作用于被測固體材料的微裂紋缺陷時,基于被測固體材料的非線性特性產(chǎn)生混頻效應(yīng),生成差頻分量; 捕獲并分析差頻回波信號,基于差頻回波信號的分析結(jié)果完成被測固體材料的微裂紋檢測; LN橫縱波雙模微探頭的制備方法為: 在熔融環(huán)境中,以空氣對鈮酸鋰晶體進行生長,并保持鈮酸鋰晶體生長過程中直徑等徑; 沿生長出的鈮酸鋰單晶棒的X軸進行切割,得到x-cutLN晶圓; 依次對x-cutLN晶圓的正面及背面進行金屬層沉積,并在背面添加劃片標記,執(zhí)行劃片后,得到LN橫縱波一體化器件準備基片; 對LN橫縱波一體化器件準備基片的正面金屬層進行圖形化刻蝕,并對伸縮工作模式下的LN橫縱波一體化器件準備基片的背面金屬層進行深刻蝕,得到縱波器件部分; 對LN橫縱波一體化器件準備基片的正面金屬層進行深刻蝕,得到橫波器件部分,橫波器件部分與縱波器件部分之間形成隔離溝槽,構(gòu)成LN橫縱波一體化器件,并對完成制備的LN橫縱波一體化器件進行陣列化,完成LN橫縱波雙模微探頭的制備。
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