南開大學任夢昕獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南開大學申請的專利一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120253756B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510758987.1,技術領域涉及:G01N21/41;該發明授權一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法及系統是由任夢昕;朱鵬飛;張迪;兀偉;許京軍設計研發完成,并于2025-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法及系統在說明書摘要公布了:本發明涉及光學薄膜折射率及厚度測量技術領域,尤其涉及一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法及系統,方法包括如下步驟:光源形成線偏振光并分解為兩束正交偏振光,分別作為信號光及參考光;信號光入射至樣品臂,經過待測薄膜樣品后,形成包含樣品信息的信號光;參考光經過參考臂后形成具有相同光程的參考光;形成合束后并使兩束光具有相同的偏振方向;計算待測薄膜樣品的透射相位角;遮擋參考臂中的參考光,測量包含樣品信息的信號光的光強及不包含樣品信息的信號光的光強;計算待測薄膜樣品的透射率;計算待測薄膜樣品的折射率及厚度。本發明提供的方法及系統能夠有效提升測量精度并擴展材料的適用范圍。
本發明授權一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種光學薄膜折射率與厚度的測量方法,其特征在于:包括如下步驟: S1:光源經過起偏器后形成線偏振光,并通過偏振分束鏡分解為兩束正交偏振光,分別作為信號光及參考光; S2:信號光入射至樣品臂,經過放置在樣品臂內的待測薄膜樣品后,基于薄膜上下表面的內反射和法珀腔效應使信號光的振幅及相位改變,形成包含樣品信息的信號光; S3:參考光經過參考臂后形成與包含樣品信息的信號光具有相同光程的參考光; S4:包含樣品信息的信號光與具有相同光程的參考光通過偏振合束鏡形成合束后,經過取向的四分之一波片后再經過可調整角度的半波片、檢偏棱鏡,使兩束光具有相同的偏振方向,產生干涉光; S5:調整半波片的快軸方向,并獲得相應干涉光的光強,再根據干涉光的光強計算待測薄膜樣品的透射相位; S6:遮擋參考臂中的參考光,并將半波片的快軸方向調整為,測量不干涉時包含樣品信息的信號光的光強,然后將待測薄膜樣品取出,測量不干涉時不包含樣品信息的信號光的光強; S7:根據不干涉時包含樣品信息的信號光的光強及不干涉時不包含樣品信息的信號光的光強計算待測薄膜樣品的透射率; S8:基于待測薄膜樣品的透射率根據式(3)計算待測薄膜樣品的折射率及厚度: (3); 其中:表示待測薄膜樣品的折射率,表示待測薄膜樣品的厚度,表示待測薄膜樣品的透射相位,表示基底折射率,表示待測薄膜樣品的透射率,表示光源發出的光的波長。
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