頂極科技股份有限公司林權瑞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉頂極科技股份有限公司申請的專利一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法和系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115032182B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110341965.7，技術領域涉及：G01N21/65；該發明授權一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法和系統是由林權瑞;沈峰民;蘇鴻嘉設計研發完成，并于2021-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法和系統在說明書摘要公布了：本申請公開一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法和系統，所述方法具有下列步驟：取得一半導體制程零配件的多個拉曼光譜數據，以及對拉曼光譜數據實施多個運算處理后獲得用以表示半導體制程零配件的老化程度的第一質變狀態模擬參數及用以表示半導體制程零配件的內部分子結構變異程度的第二質變狀態模擬參數。
本發明授權一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法和系統在權利要求書中公布了：1.一種用于半導體制程零配件的質變檢測的數據處理方法，其特征在于，包括： 取得一半導體制程零配件的多個拉曼光譜數據；及 對所述拉曼光譜數據實施多個運算處理，以得到用以表示所述半導體制程零配件的老化程度的第一質變狀態模擬參數及用以表示所述半導體制程零配件的內部分子結構變異程度的第二質變狀態模擬參數；所述拉曼光譜數據是所述半導體制程零配件以不同的半導體制程零配件的質變檢測系統檢測時所測得，所述運算處理包括： 對取得的所述拉曼光譜數據實施至少二個維度的對齊運算，以消除所述半導體制程零配件于所述不同的半導體制程零配件的質變檢測系統的檢測結果的誤差不一致； 對經過所述對齊運算后的所述拉曼光譜數據實施導數運算，以實施各個所述拉曼光譜數據的所有譜峰彼此間的差距在不同維度上的比值運算，以得到能夠表示各個所述拉曼光譜數據的所有譜峰強度值隨著拉曼光譜偏移的變化而變化的第一參數； 對所述第一參數實施尺度縮放及正規化處理，以得到第二參數； 對所述第二參數實施降維運算，以得到第三參數；及 對所述第三參數實施標準偏差運算，以得到平均值和離散值； 其中，所述第一質變狀態模擬參數關連于所述平均值，且所述第二質變狀態模擬參數關連于所述離散值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人頂極科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市北區東大路二段327號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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