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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京晶亦精微科技股份有限公司申請的專利一種金屬膜厚的實時測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116175396B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211230651.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B37/005；該發(fā)明授權(quán)一種金屬膜厚的實時測量方法是由白琨;李嘉浪;張康;賈若雨;孟曉云;周慶亞設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種金屬膜厚的實時測量方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種金屬膜厚的實時測量方法，包括：提供第一標定晶圓至第N標定晶圓，任意第n標定晶圓的表面具有第n金屬膜；獲取第一金屬膜的第一溫度補償標定系數(shù)至第N金屬膜的第N溫度補償標定系數(shù)；擬合出膜厚預(yù)測函數(shù)；提供待測晶圓，待測晶圓的表面具有待測金屬膜；對待測金屬膜進行拋光處理，獲取待測金屬膜的溫度變化量；獲得對應(yīng)溫度變化量的初始測試渦流信號；獲取第n標定預(yù)測渦流信號；獲取溫度補償預(yù)測函數(shù)；獲取初始測試渦流信號在溫度補償預(yù)測函數(shù)中對應(yīng)的溫度補償預(yù)測系數(shù)；獲取補償渦流信號；獲取補償渦流信號在膜厚預(yù)測函數(shù)中對應(yīng)的待測金屬膜的測試厚度。上述金屬膜厚的實時測量方法，提高了金屬膜厚實時測量的準確性。

本發(fā)明授權(quán)一種金屬膜厚的實時測量方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種金屬膜厚的實時測量方法，其特征在于，包括： 步驟S1：提供第一標定晶圓至第N標定晶圓，任意第n標定晶圓的表面具有第n金屬膜；第一標定晶圓表面的第一金屬膜至第N標定晶圓表面的第N金屬膜的厚度不同，N為大于等于2的整數(shù)； 步驟S2:獲取第一金屬膜的第一溫度補償標定系數(shù)至第N金屬膜的第N溫度補償標定系數(shù)Ψn；獲取任意的第n溫度補償標定系數(shù)Ψn的步驟包括：對第n標定晶圓進行第n水拋處理；在第n水拋處理之前，對第n金屬膜進行第n次第一電渦流傳感器測試以獲得第n次第一渦流信號Sn1；在第n水拋處理之后，對第n金屬膜進行第n次第二電渦流傳感器測試，獲得第n次第二渦流信號Sn2；n為大于或等于1且小于或等于N的整數(shù)；獲取第n水拋處理過程的第n溫度變化量ΔTn；將第n次第一渦流信號和第n次第二渦流信號的差值的絕對值與第n溫度變化量ΔTn的比值作為第n溫度補償標定系數(shù)Ψn；Ψn＝ΔSnΔTn；ΔSn＝︱Sn1-Sn2︱；ΔTn＝︱Tn1-Tn2︱； 步驟S3:采用任意的第n金屬膜的厚度與第n次第一渦流信號的數(shù)據(jù)擬合出膜厚預(yù)測函數(shù)，所述膜厚預(yù)測函數(shù)為測試厚度與補償渦流信號的關(guān)系； 步驟S4:提供待測晶圓，所述待測晶圓的表面具有待測金屬膜； 步驟S5:對待測金屬膜進行拋光處理，獲取對待測金屬膜進行拋光處理的過程中的溫度變化量ΔT；對待測金屬膜進行拋光處理的過程中，實時對待測金屬膜進行電渦流傳感器測試，以獲得對應(yīng)溫度變化量ΔT的初始測試渦流信號S0； 步驟S6：采用溫度變化量ΔT和任意的第n溫度補償標定系數(shù)Ψn獲取第n標定預(yù)測渦流信號I1n,I1n＝Ψn*ΔT+Sn1； 步驟S7：采用任意的第n溫度補償標定系數(shù)和第n標定預(yù)測渦流信號I1n獲取溫度補償預(yù)測函數(shù)，溫度補償預(yù)測函數(shù)為溫度補償預(yù)測系數(shù)隨初始測試渦流信號的變化關(guān)系； 步驟S8:獲取所述初始測試渦流信號在所述溫度補償預(yù)測函數(shù)中對應(yīng)的待測金屬膜的溫度補償預(yù)測系數(shù)Ψ； 步驟S9:根據(jù)待測金屬膜的溫度補償預(yù)測系數(shù)Ψ、溫度變化量ΔT、初始測試渦流信號S0獲取補償渦流信號S；S＝S0+ΔT*Ψ； 步驟S10：獲取補償渦流信號S在所述膜厚預(yù)測函數(shù)中對應(yīng)的待測金屬膜的測試厚度。

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