廣東工業(yè)大學(xué)許雨翔獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東工業(yè)大學(xué)申請的專利一種具有氮化物和氧化物的涂層及制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116988022B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202310908275.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C14/32;該發(fā)明授權(quán)一種具有氮化物和氧化物的涂層及制備方法和應(yīng)用是由許雨翔;范江滔;王啟民設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-07-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種具有氮化物和氧化物的涂層及制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了:本申請公開了一種具有氮化物和氧化物的涂層及制備方法和應(yīng)用,涂層包括依次沉積所獲得的TiAlN層、CrAlO層和CrAlON層。制備方法包括如下流程:S1,清洗基體;S2,在鍍膜腔室中對基體表面進行原位刻蝕;S3,在基體表面利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備TiAlN層;S4,在TiAlN層上利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備CrAlO層;S5,在CrAlO層上利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備CrAlON層。本申請所制備的涂層具有TiAlN層、CrAlO層和CrAlON層等多層結(jié)構(gòu),在基體表面沉積TiAlN層,提高涂層與基體之間的結(jié)合強度,在CrAlO層上沉積CrAlON層,從而在高溫下能夠快速形成致密的氧化膜,從而提升涂層的耐高溫性。
本發(fā)明授權(quán)一種具有氮化物和氧化物的涂層及制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了:1.一種具有氮化物和氧化物的涂層的制備方法,其特征在于:包括 S1,清洗基體; S2,在鍍膜腔室中對基體表面進行原位刻蝕; S3,在基體表面利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備TiAlN層; S4,在TiAlN層上利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備CrAlO層; S5,在CrAlO層上利用陰極弧蒸發(fā)沉積方法制備CrAlON層,通入氮氣和氧氣,鍍膜腔室中氣壓為0.6至2Pa,電弧靶的靶電流密度為0.5至1.5Acm2,基體偏壓為-100至-200V,沉積時間為10至40min; CrAlON層中,Al含量為10至25at%,Cr含量為10至25at%,O含量為15至30at%,N含量為15至30at%。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人廣東工業(yè)大學(xué),其通訊地址為:510006 廣東省廣州市番禺區(qū)大學(xué)城外環(huán)西路100號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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