中國電子科技集團公司第四十八研究所雷晉偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種克服自重的導向機構及包含其的基片夾持機構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223272776U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422607308.4,技術領域涉及:G03F7/20;該實用新型一種克服自重的導向機構及包含其的基片夾持機構是由雷晉偉;肖曉雨;范江華;龔俊設計研發完成,并于2024-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種克服自重的導向機構及包含其的基片夾持機構在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種克服自重的導向機構及包含其的基片夾持機構,包括:防脫彈簧、導向柱、導向頂桿和軸承組件;導向柱內部為空心結構,且兩側對稱設有貫通的槽口,導向頂桿貫穿設置在導向柱內部,導向頂桿的兩端均通過防脫彈簧和軸承組件與導向柱的兩端滑動連接,防脫彈簧和軸承組件用于提供彈性夾持力,以輔助導向頂桿在導向柱內部運動到極限位置時克服自身重力而保持平衡;導向頂桿的兩側分別連接兩個待升降的基片夾緊部件,且導向頂桿的中部連接驅動元件;當驅動元件驅動導向頂桿沿著導向柱升降時,以實現導向頂桿兩側的基片夾緊部件同步升降。本實用新型具有結構緊湊、操作便捷且同步性高等特點,有利于實現基片自動化夾緊、釋放。
本實用新型一種克服自重的導向機構及包含其的基片夾持機構在權利要求書中公布了:1.一種克服自重的導向機構,其特征在于,導向機構(100)包括:防脫彈簧(101)、導向柱(102)、導向頂桿(103)和軸承組件;所述導向柱(102)內部為空心結構,且導向柱(102)兩側對稱設有貫通的槽口,所述導向頂桿(103)貫穿設置在導向柱(102)內部,導向頂桿(103)的兩端均通過防脫彈簧(101)和軸承組件與導向柱(102)的兩端滑動連接,所述防脫彈簧(101)和軸承組件用于提供彈性夾持力,以輔助導向頂桿(103)在導向柱(102)內部運動到極限位置時克服自身重力而保持平衡;所述導向頂桿(103)的兩側分別連接兩個待升降的基片夾緊部件,且導向頂桿(103)的中部連接驅動元件;當驅動元件驅動導向頂桿(103)沿著導向柱(102)升降時,以實現導向頂桿(103)兩側的基片夾緊部件同步升降。
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