芯納(揚州)微電子設備有限公司戚增欣獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉芯納(揚州)微電子設備有限公司申請的專利一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223268746U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422598228.7,技術領域涉及:C23C14/52;該實用新型一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構是由戚增欣設計研發完成,并于2024-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構在說明書摘要公布了:本實用新型公開了鍍膜設備技術領域內的一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構,其安裝在高真空鍍膜設備的門板上,包括:擋板座,安裝門板上,用以安裝擋板軸;擋板軸,安裝在擋板座內部的空腔內,用以安裝擋板并帶動其轉動,其可轉動的安裝在所述空降內,前端連接擋板,后端安裝有內磁吸塊;擋板,安裝在擋板軸的前端,通過旋轉遮擋觀察窗;旋轉把手,套設在擋板座上,其內部設有外磁吸塊,本實用新型采用磁吸的方式控制擋板轉動,解決了動密封結構易真空漏氣的問題。
本實用新型一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構在權利要求書中公布了:1.一種用于高真空鍍膜設備的觀察窗磁吸擋板結構,其安裝在高真空鍍膜設備的門板(700)上,其特征在于,包括: 擋板座(100),安裝門板(700)上,用以安裝擋板軸(200); 擋板軸(200),安裝在擋板座(100)內部的空腔內,用以安裝擋板(300)并帶動其轉動,其可轉動的安裝在所述空腔內,前端連接擋板(300),后端安裝有內磁鐵塊(202; 擋板(300),安裝在擋板軸(200)的前端,通過旋轉遮擋觀察窗(701); 旋轉把手(500),套設在擋板座(100)上,其內部設有外磁鐵塊(602)。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人芯納(揚州)微電子設備有限公司,其通訊地址為:225000 江蘇省揚州市邗江區西湖街道美湖路2號-18幢-1樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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