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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司申請(qǐng)的專利一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223273264U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422616745.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該實(shí)用新型一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置是由請(qǐng)求不公布姓名設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型提出一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置，包括載臺(tái)板，所述載臺(tái)板上固定安裝旋轉(zhuǎn)臂，所述旋轉(zhuǎn)臂用于與外部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，第一伺服電機(jī)輸出端連接減速機(jī)，磁流體固定在連接套上，磁流體內(nèi)套設(shè)的軸的一端穿過離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的一側(cè)壁與載臺(tái)板連接，所述連接套遠(yuǎn)離離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的一端固定套接有安裝架，所述磁流體內(nèi)套設(shè)的軸的另一端依次與所述減速機(jī)和安裝架套接，遠(yuǎn)離離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的所述磁流體內(nèi)套設(shè)的軸的端末設(shè)有一組阻擋塊組，安裝架與阻擋塊的同側(cè)設(shè)有多個(gè)緩沖裝置，通過緩沖裝置與阻擋塊的配合，來限制所述磁流體內(nèi)套設(shè)的軸的旋轉(zhuǎn)角度，以此來輔助限制所述載臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)角度。

本實(shí)用新型一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種離子束蝕刻機(jī)的晶圓載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸裝置，包括載臺(tái)板（1），所述載臺(tái)板（1）上固定安裝旋轉(zhuǎn)臂（11），所述旋轉(zhuǎn)臂（11）用于與外部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)（20）連接，通過外部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)（20）進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得晶圓的刻蝕更加的均勻，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)（20）包含第一伺服電機(jī)（21），所述第一伺服電機(jī)（21）輸出端連接減速機(jī)（22），磁流體（23）固定在連接套（90）上，所述連接套（90）與離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的一側(cè)壁固定連接，所述磁流體（23）內(nèi)套設(shè)的軸（24）的一端穿過離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的一側(cè)壁與載臺(tái)板（1）連接，通過第一伺服電機(jī)（21）與減速機(jī)（22）轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體（23）的軸（24），從而帶動(dòng)載臺(tái)板（1）轉(zhuǎn)動(dòng)，其特征在于：所述連接套（90）遠(yuǎn)離離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的一端固定套接有安裝架（30），所述磁流體（23）內(nèi)套設(shè)的軸（24）的另一端依次與所述減速機(jī)（22）和安裝架（30）套接，所述遠(yuǎn)離離子束蝕刻機(jī)的刻蝕室的所述磁流體（23）內(nèi)套設(shè)的軸（24）的端末設(shè)有一組阻擋塊組，所述阻擋塊組由間隔設(shè)置的兩個(gè)阻擋塊組成，所述安裝架（30）與阻擋塊（40）的同側(cè)設(shè)有多個(gè)緩沖裝置（50），通過緩沖裝置（50）與阻擋塊（40）的配合，來輔助限制所述磁流體（23）內(nèi)套設(shè)的軸（24）的旋轉(zhuǎn)角度，以此來限制所述載臺(tái)板（1）的旋轉(zhuǎn)角度。

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