拓荊科技(上海)有限公司牛沛澤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技(上海)有限公司申請的專利一種集成式的腔體抽氣裝置及其薄膜沉積設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223268753U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422628722.3，技術領域涉及：C23C16/44；該實用新型一種集成式的腔體抽氣裝置及其薄膜沉積設備是由牛沛澤設計研發完成，并于2024-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種集成式的腔體抽氣裝置及其薄膜沉積設備在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種集成式的腔體抽氣裝置及其薄膜沉積設備，集成式的腔體抽氣裝置包括：抽氣塊，連接于抽氣塊上的至少一組抽氣控制組件，抽氣塊上設有抽氣通道和排氣通道，抽氣通道和排氣通道的其中一端均延伸至抽氣塊的表面，抽氣控制組件用于控制抽氣通道與排氣通道的通斷。其通過將抽氣角閥閥芯以及對應的真空規和安全閥集成在塊狀的抽氣塊上，抽氣塊內部開設有抽氣通道和排氣通道，從而實現高度集成的抽氣模組，從而便于根據實際需要，將抽氣模組連接組裝于反應腔室的任何位置。本實施例的薄膜沉積設備，其將反應腔的進氣孔和出氣孔相對設置，從而使進氣對流，避免在反應腔內出現死區現象。
本實用新型一種集成式的腔體抽氣裝置及其薄膜沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種集成式的腔體抽氣裝置，其特征在于，包括：抽氣塊，連接于所述抽氣塊上的至少一組抽氣控制組件，所述抽氣塊上設有抽氣通道和排氣通道，所述抽氣通道和所述排氣通道的其中一端均延伸至所述抽氣塊的表面，所述抽氣控制組件用于控制所述抽氣通道與所述排氣通道的通斷。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技(上海)有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區鴻音路1211號10幢304室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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