佛山市海光智能科技有限公司徐豐獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佛山市海光智能科技有限公司申請的專利一種MPCVD設備進氣冷卻結構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223268763U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202422657460.3,技術領域涉及:C23C16/511;該實用新型一種MPCVD設備進氣冷卻結構是由徐豐;周健泉設計研發(fā)完成,并于2024-10-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MPCVD設備進氣冷卻結構在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種MPCVD設備進氣冷卻結構,包括密封罩本體,所述密封罩本體的內部設有第一水冷腔、進氣腔和第二水冷腔,所述進氣腔位于所述第一水冷腔和第二水冷腔之間,所述進氣腔的內底壁設有若干出氣孔,若干所述出氣孔均貫穿所述密封罩本體的內頂壁設置;所述密封罩本體的外表面設有第一進水口、第一出水口、第二進水口、第二出水口和進氣口。本實用新型通過冷卻液在第一水冷腔和第二水冷腔內流動,可以帶走密封罩本體的熱量,從而實現(xiàn)密封罩本體的冷卻散熱,避免密封罩本體的溫度過高,同時還可以帶走第一水冷腔和第二水冷腔之間的進氣腔的熱量,來對進氣腔進行散熱,避免進氣腔的溫度過高。
本實用新型一種MPCVD設備進氣冷卻結構在權利要求書中公布了:1.一種MPCVD設備進氣冷卻結構,其特征在于,包括密封罩本體1,所述密封罩本體1的內部設有第一水冷腔2、進氣腔4和第二水冷腔3,所述進氣腔4位于所述第一水冷腔2和第二水冷腔3之間,所述進氣腔4的內底壁設有若干出氣孔42,若干所述出氣孔42均貫穿所述密封罩本體1的內頂壁設置; 所述密封罩本體1的外表面設有第一進水口21、第一出水口22、第二進水口31、第二出水口32和進氣口41,所述第一進水口21和第一出水口22與所述第一水冷腔2相連通,所述第二進水口31和第二出水口32與所述第二水冷腔3相連通,所述進氣口41與所述進氣腔4相連通。
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