成都沃特塞恩電子技術有限公司劉文科獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉成都沃特塞恩電子技術有限公司申請的專利一種樣品臺組件及MPCVD裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223268756U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422642802.4，技術領域涉及：C23C16/458；該實用新型一種樣品臺組件及MPCVD裝置是由劉文科;李俊宏;黃春林設計研發完成，并于2024-10-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種樣品臺組件及MPCVD裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及微波等離子體技術領域，具體而言，涉及一種樣品臺組件及MPCVD裝置，所述樣品臺組件包括底座和鉬臺，還包括銅板，所述鉬臺套設在銅板上，所述銅板套設在底座上，所述銅板設置有凹槽，所述凹槽與底座形成通道，所述底座設置有冷卻介質入口和冷卻介質出口，所述冷卻介質入口和冷卻介質出口均與通道連通，提供了一種可防止鉬臺被冷卻介質侵蝕，且散熱性能較好的樣品臺組件，所述MPCVD裝置包括所述樣品臺組件。
本實用新型一種樣品臺組件及MPCVD裝置在權利要求書中公布了：1.一種樣品臺組件，包括底座（1）和鉬臺（2），其特征在于：還包括銅板（3），所述鉬臺（2）套設在銅板（3）上，所述銅板（3）套設在底座（1）上，所述銅板（3）設置有凹槽（31），所述凹槽（31）與底座（1）形成通道（4），所述底座（1）設置有冷卻介質入口（11）和冷卻介質出口（12），所述冷卻介質入口（11）和冷卻介質出口（12）均與通道（4）連通。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人成都沃特塞恩電子技術有限公司，其通訊地址為：610041 四川省成都市高新區益州大道中段1800號天府軟件園G區G3棟3樓301號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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