中國工程物理研究院電子工程研究所計煒梁獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國工程物理研究院電子工程研究所申請的專利雙電極壓電薄膜超聲換能器及其陣列耦合方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120306233B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510807012.3,技術領域涉及:B06B1/06;該發明授權雙電極壓電薄膜超聲換能器及其陣列耦合方法是由計煒梁;邢占強;孫臣臣;孫翔宇設計研發完成,并于2025-06-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本雙電極壓電薄膜超聲換能器及其陣列耦合方法在說明書摘要公布了:本發明涉及電子材料與器件技術領域,具體涉及雙電極壓電薄膜超聲換能器及其陣列耦合方法,該雙電極壓電薄膜超聲換能器包括依次設置的結構層、浮置電場調控層、壓電層和電極組件,所述浮置電場調控層配置為無外部電氣接口,浮置電場調控層與電極組件之間形成縱向串聯電場通路;所述電極組件包括:中心電極,配置為驅動信號輸入或接收信號輸出端;外環電極,與所述中心電極同軸間隔布置,配置為參考地端。其目的在于,解決雙電極PMUT布線及控制電路復雜、工藝成本高的技術問題。
本發明授權雙電極壓電薄膜超聲換能器及其陣列耦合方法在權利要求書中公布了:1.雙電極壓電薄膜超聲換能器,其特征在于,包括依次設置的結構層、浮置電場調控層、壓電層和電極組件,所述浮置電場調控層配置為無外部電氣接口,浮置電場調控層與電極組件之間形成縱向串聯電場通路;所述電極組件包括: 中心電極,配置為驅動信號輸入或接收信號輸出端; 外環電極,與所述中心電極同軸間隔布置,配置為參考地端; 所述浮置電場調控層通過磁控濺射沉積金屬層形成,并與壓電層接觸,所述壓電層由鈮酸鋰或氮化鋁材料制成; 還包括支撐層,所述支撐層配置為基底,所述結構層通過微加工工藝設于支撐層上,結構層為懸空薄膜結構并配置有背腔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國工程物理研究院電子工程研究所,其通訊地址為:621999 四川省綿陽市游仙區綿山路64號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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