江蘇神州半導體科技有限公司潘小剛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇神州半導體科技有限公司申請的專利一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120354267B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510837240.5，技術領域涉及：G06F18/243；該發明授權一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法及裝置是由潘小剛;顧小軍;束寅志;金玉亮設計研發完成，并于2025-06-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法及裝置在說明書摘要公布了：本發明屬于遠程等離子源技術領域，提供了一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法及裝置，方法包括：獲取石英腔體的氣泡數據；基于隨機森林算法獲取工藝參數對于各氣泡數據的重要性度；綜合各氣泡數據獲得耦合重要性度；建立關于氣泡數量M與氣泡最大直徑D的誤差目標函數，對隸屬度權值進行優化更新；將優化后的隸屬度權值與對應的初始值進行比較，獲得單位時間的各工藝參數變化率；根據氣泡數量M與氣泡最大直徑D的誤差率大小關系，依據工藝參數變化率對工藝進行動態優化。本發明基于隨機森林評估出各工藝參數的重要性度，根據檢測氣泡的狀態優化工藝參數，能夠減少石英腔體顆粒對制程腔室的污染，提高遠程等離子源的使用壽命。
本發明授權一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種遠程等離子源石英腔體氣泡消除控制方法，其特征在于，包括： 獲取石英腔體的氣泡數據，包括氣泡數量和氣泡最大直徑； 基于隨機森林算法，獲取不同工藝參數對于各氣泡數據的重要性度； 綜合各氣泡數據的重要性度，獲得耦合重要性度； 建立關于氣泡數量M與氣泡最大直徑D的誤差目標函數，對氣泡數量M與氣泡最大直徑D的隸屬度權值進行優化更新；所述誤差目標函數，為氣泡數量誤差閾值，為氣泡最大直徑誤差閾值，為氣泡數量閾值，為最大直徑閾值，、分別為氣泡數量和氣泡最大直徑的隸屬度權值； 將優化后的隸屬度權值與對應的初始值進行比較，獲得單位時間的各工藝參數變化率； 根據氣泡數量M與氣泡最大直徑D的誤差率大小關系，依據所述工藝參數變化率對工藝進行動態優化。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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